Ultraprecyzyjny stolik z łożyskiem powietrznym SiC

Ultraprecyzyjny stolik SiC z łożyskiem powietrznym – zdjęcie główne

Krótki opis:

Wraz z ciągłą ewolucją branży półprzewodników, urządzenia do przetwarzania i kontroli wymagają coraz wyższej wydajności. Bazując na bogatym doświadczeniu w zakresie sterowania ruchem i pozycjonowania na poziomie nanometrów, opracowaliśmy płaski, dwuosiowy, ultraprecyzyjny stolik typu H z łożyskiem powietrznym.

Wyślij do nas e-mail

Cechy

Szczegółowy diagram

Przegląd

Zaprojektowany z wykorzystaniem zoptymalizowanej metodą elementów skończonych ceramicznej struktury z węglika krzemu (SiC) i technologii kompensowanego łożyska powietrznego, stolik zapewnia wyjątkową dokładność, sztywność i dynamikę. Idealnie nadaje się do:

Przetwarzanie i kontrola półprzewodników
Mikro/nano produkcja i metrologia
Cięcie i polerowanie w skali nanometrycznej
Szybkie i precyzyjne skanowanie

Główne cechy

Prowadnica powietrzna SiCdla uzyskania ultrawysokiej sztywności i precyzji
Wysoka dynamika: prędkość do 1 m/s, przyspieszenie do 4 g, szybkie osadzanie
Podwójny napęd bramy osi Yzapewnia wysoką nośność i stabilność
Opcje enkodera: kratka optyczna lub interferometr laserowy
Dokładność pozycjonowania: ±0,15 μm;powtarzalność: ±75 nm
Zoptymalizowane prowadzenie kablidla czystego projektu i długoterminowej niezawodności
Konfiguracje dostosowywalnedla potrzeb specyficznych dla danej aplikacji

Ultraprecyzyjna konstrukcja i architektura bezkontaktowa z napędem bezpośrednim

Rama ceramiczna SiC:~5x większa sztywność stopu aluminium i ~5x niższa rozszerzalność cieplna, co zapewnia stabilność przy dużych prędkościach i odporność termiczną.
Kompensowane łożysko powietrzne:Opatentowana konstrukcja zwiększa sztywność, nośność i stabilność ruchu.
Dynamiczna wydajność:Obsługuje prędkość 1 m/s i przyspieszenie 4 g, co jest idealne w przypadku procesów o dużej przepustowości.
Bezproblemowa integracja:Kompatybilny z systemami izolacji wibracyjnej, stolikami obrotowymi, modułami przechylnymi i platformami do obsługi płytek półprzewodnikowych.
Zarządzanie kablami:Kontrolowany promień gięcia minimalizuje naprężenia, wydłużając tym samym żywotność urządzenia.

Silnik liniowy bezrdzeniowy: Płynny ruch bez żadnej siły nacisku.
Napęd wielosilnikowy:Umieszczenie silnika w płaszczyźnie obciążenia poprawia prostoliniowość, płaskość i precyzję kątową.
Izolacja termicznaSilniki są odizolowane od konstrukcji sceny; opcjonalne chłodzenie powietrzem lub wodą w przypadku cykli o dużym obciążeniu.

Specyfikacje

Model	400-400	500-500	600-600
Osie	X (skanowanie) / Y (krok)	X (skanowanie) / Y (krok)	X (skanowanie) / Y (krok)
Skok (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Dokładność (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Powtarzalność (nm)	±75	±100	±100
Rozdzielczość (nm)	0,3	0,3	0,3
Maksymalna prędkość (m/s)	1	1	1
Przyspieszenie (g)	4	4	4
Prostość (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilność (nm)	±5	±5	±5
Maksymalne obciążenie (kg)	20	20	20
Pochylenie/przechylenie/odchylenie (sekundy łuku)	±1	±1	±1

Warunki testu:

Dopływ powietrza: czysty, suchy; temperatura punktu rosy ≤ 0°F; filtracja cząstek ≤ 0,25 μm; lub 99,99% azotu.
Dokładność mierzona 25 mm nad środkiem sceny przy temperaturze 20±1 °C i wilgotności względnej 40–60%.

Aplikacje

Litografia półprzewodnikowa, inspekcja i obsługa płytek półprzewodnikowych
Mikro/nanoprodukcja i precyzyjna metrologia
Produkcja wysokiej klasy optyki i interferometria
Lotnictwo i kosmonautyka oraz zaawansowane badania naukowe

FAQ – Stopień łożysk powietrznych z węglika krzemu

1. Czym jest stopień powietrzny?

Stopień z łożyskiem powietrznym wykorzystuje cienką warstwę sprężonego powietrza pomiędzy stopniem a prowadnicą, aby zapewnićbez tarcia, bez zużycia i niezwykle płynny ruchW przeciwieństwie do konwencjonalnych łożysk mechanicznych eliminuje zjawisko stick-slip, zapewnia dokładność na poziomie nanometrów i gwarantuje długoterminową niezawodność.

2. Dlaczego do budowy sceny zastosowano węglik krzemu (SiC)?

Wysoka sztywność:~5× większa niż w przypadku stopu aluminium, co minimalizuje odkształcenia podczas ruchu dynamicznego.
Niska rozszerzalność cieplna:~5× niższe niż w przypadku aluminium, co zapewnia dokładność przy wahaniach temperatury.
Lekki:Niższa gęstość w porównaniu ze stalą, umożliwiająca pracę z dużą prędkością i przyspieszeniem.
Doskonała stabilność:Doskonałe tłumienie i sztywność dla uzyskania niezwykle precyzyjnego pozycjonowania.

3. Czy scena wymaga smarowania lub konserwacji?

Nie jest potrzebne tradycyjne smarowanie, ponieważbrak kontaktu mechanicznegoZalecana konserwacja obejmuje:

Dostarczanieczyste, suche sprężone powietrze lub azot
Okresowa kontrola filtrów i osuszaczy
Monitorowanie kabli i systemów chłodzenia

4. Jakie są wymagania dotyczące dopływu powietrza?

Temperatura punktu rosy: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtracja cząstek: ≤ 0,25 μm
Czyste, suche powietrze lub azot o czystości 99,99%
Stabilne ciśnienie z minimalnymi wahaniami

O nas

Firma XKH specjalizuje się w rozwoju, produkcji i sprzedaży zaawansowanych technologicznie specjalistycznych szkieł optycznych i nowych materiałów kryształowych. Nasze produkty znajdują zastosowanie w elektronice optycznej, elektronice użytkowej oraz w wojsku. Oferujemy komponenty optyczne z szafiru, obudowy soczewek do telefonów komórkowych, ceramikę, płytki LT, węglik krzemu SIC, kwarc oraz kryształy półprzewodnikowe. Dzięki specjalistycznej wiedzy i najnowocześniejszemu sprzętowi, specjalizujemy się w przetwarzaniu produktów niestandardowych, dążąc do bycia wiodącym przedsiębiorstwem high-tech w branży materiałów optoelektronicznych.