8-calowy 200 mm 4H-N SiC Wafel przewodzący, gatunek badawczy

Krótki opis:

Wraz z ewolucją rynków transportowych, energetycznych i przemysłowych zapotrzebowanie na niezawodną elektronikę mocy o wysokiej wydajności stale rośnie.Aby sprostać wymaganiom w zakresie lepszej wydajności półprzewodników, producenci urządzeń poszukują materiałów półprzewodnikowych o szerokiej przerwie energetycznej, takich jak nasza oferta płytek 4H SiC Prime Grade z węglika krzemu (SiC) typu 4H n.


Szczegóły produktu

Tagi produktów

Ze względu na swoje unikalne właściwości fizyczne i elektroniczne, półprzewodnikowy materiał półprzewodnikowy SiC o grubości 200 mm jest używany do tworzenia urządzeń elektronicznych o wysokiej wydajności, odpornych na wysoką temperaturę, promieniowanie i wysoką częstotliwość.Cena 8-calowego podłoża SiC stopniowo maleje wraz ze wzrostem zaawansowania technologii i wzrostem popytu.Najnowsze osiągnięcia technologiczne doprowadziły do ​​produkcji płytek SiC na skalę produkcyjną o średnicy 200 mm.Główne zalety płytek półprzewodnikowych SiC w porównaniu z płytkami Si i GaAs: Natężenie pola elektrycznego 4H-SiC podczas załamania lawinowego jest o ponad rząd wielkości wyższe niż odpowiadające im wartości dla Si i GaAs.Prowadzi to do znacznego spadku rezystywności Ron w stanie włączenia.Niska rezystywność w stanie włączenia w połączeniu z dużą gęstością prądu i przewodnością cieplną pozwala na zastosowanie bardzo małych matryc do urządzeń zasilających.Wysoka przewodność cieplna SiC zmniejsza opór cieplny chipa.Właściwości elektroniczne urządzeń opartych na płytkach SiC są bardzo stabilne w czasie i stabilne temperaturowo, co zapewnia wysoką niezawodność produktów.Węglik krzemu jest wyjątkowo odporny na promieniowanie twarde, co nie pogarsza właściwości elektronicznych chipa.Wysoka graniczna temperatura pracy kryształu (ponad 6000C) pozwala na tworzenie wysoce niezawodnych urządzeń do trudnych warunków pracy i zastosowań specjalnych.Obecnie możemy dostarczać małe partie płytek 200 mmSiC w sposób ciągły i ciągły oraz posiadamy pewne zapasy w magazynie.

Specyfikacja

Numer Przedmiot Jednostka Produkcja Badania Atrapa
1. Parametry
1.1 polityp -- 4H 4H 4H
1.2 orientacja powierzchniowa ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Parametr elektryczny
2.1 domieszka -- Azot typu n Azot typu n Azot typu n
2.2 oporność om · cm 0,015 ~ 0,025 0,01 ~ 0,03 NA
3. Parametr mechaniczny
3.1 średnica mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 grubość um 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientacja wycięcia ° [1-100]±5 [1-100]±5 [1-100]±5
3.4 Głębokość wycięcia mm 1 ~ 1,5 1 ~ 1,5 1 ~ 1,5
3.5 LTV um ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TTV um ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Ukłon um -25 ~ 25 -45~45 -65 ~ 65
3.8 Osnowa um ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Struktura
4.1 gęstość mikrorurek szt./cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 zawartość metalu atomy/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD szt./cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD szt./cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4,5 PRZETRZĄSAĆ szt./cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Pozytywna jakość
5.1 przód -- Si Si Si
5.2 wykończenie powierzchni -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
5.3 cząstka szt./wafel ≤100 (rozmiar ≥0,3μm) NA NA
5.4 zadrapanie szt./wafel ≤5, długość całkowita ≤200 mm NA NA
5.5 Krawędź
wióry/wcięcia/pęknięcia/plamy/zanieczyszczenia
-- Nic Nic NA
5.6 Obszary politypowe -- Nic Powierzchnia ≤10% Powierzchnia ≤30%
5.7 oznaczenie z przodu -- Nic Nic Nic
6. Jakość pleców
6.1 wykończenie tyłu -- MP z twarzą C MP z twarzą C MP z twarzą C
6.2 zadrapanie mm NA NA NA
6.3 Uszkodzona krawędź grzbietu
chipy/wcięcia
-- Nic Nic NA
6.4 Szorstkość pleców nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6,5 Oznaczenie tyłu -- Karb Karb Karb
7. Krawędź
7.1 krawędź -- Ścięcie Ścięcie Ścięcie
8. Pakiet
8.1 opakowanie -- Gotowy do epi z próżnią
opakowanie
Gotowy do epi z próżnią
opakowanie
Gotowy do epi z próżnią
opakowanie
8.2 opakowanie -- Wielowarstwowe
opakowanie kasetowe
Wielowarstwowe
opakowanie kasetowe
Wielowarstwowe
opakowanie kasetowe

Szczegółowy schemat

8-calowy SiC03
8-calowy SiC4
8-calowy SiC5
8-calowy SiC6

  • Poprzedni:
  • Następny:

  • Napisz tutaj swoją wiadomość i wyślij ją do nas