Łódź z płytek z węglika krzemu (SiC)

Łódź z płytką z węglika krzemu (SiC) – zdjęcie główne

Krótki opis:

Łódeczka na płytki z węglika krzemu (SiC) to nośnik procesów półprzewodnikowych wykonany z materiału SiC o wysokiej czystości, przeznaczony do utrzymywania i transportu płytek podczas krytycznych procesów wysokotemperaturowych, takich jak epitaksja, utlenianie, dyfuzja i wyżarzanie.

Wyślij do nas e-mail

Cechy

Szczegółowy diagram

Przegląd szkła kwarcowego

Wraz z szybkim rozwojem półprzewodników mocy i urządzeń szerokopasmowych, konwencjonalne łódki kwarcowe napotykają na ograniczenia, takie jak odkształcanie w wysokich temperaturach, silne zanieczyszczenie cząsteczkami i krótka żywotność. Łódeczki z płytek krzemowych (SiC), charakteryzujące się doskonałą stabilnością termiczną, niskim zanieczyszczeniem i dłuższą żywotnością, coraz częściej zastępują łódki kwarcowe i stają się preferowanym wyborem w produkcji urządzeń SiC.

Główne cechy

1. Zalety materialne

Wykonane z SiC o wysokiej czystości zwysoka twardość i wytrzymałość.
Temperatura topnienia powyżej 2700°C, znacznie wyższa niż w przypadku kwarcu, gwarantuje długoterminową stabilność w ekstremalnych warunkach.

2. Właściwości termiczne

Wysoka przewodność cieplna zapewnia szybkie i równomierne przenoszenie ciepła, minimalizując naprężenia wafli.
Współczynnik rozszerzalności cieplnej (CTE) jest bardzo zbliżony do współczynnika podłoży SiC, co pozwala ograniczyć wyginanie się płytek i powstawanie pęknięć.

3. Stabilność chemiczna

Stabilne w wysokiej temperaturze i różnych atmosferach (H₂, N₂, Ar, NH₃, itp.).
Doskonała odporność na utlenianie, zapobiegająca rozkładowi i powstawaniu cząstek.

4. Wydajność procesu

Gładka i gęsta powierzchnia ogranicza rozrzucanie cząsteczek i zanieczyszczenie.
Zachowuje stabilność wymiarową i nośność po długotrwałym użytkowaniu.

5. Efektywność kosztowa

Żywotność 3–5 razy dłuższa niż w przypadku łodzi kwarcowych.
Niższa częstotliwość konserwacji, co redukuje przestoje i koszty wymiany.

Aplikacje

Epitaksja SiC:Wsparcie dla podłoży SiC o średnicy 4, 6 i 8 cali podczas wzrostu epitaksjalnego w wysokiej temperaturze.
Produkcja urządzeń energetycznych:Idealny do tranzystorów MOSFET SiC, diod Schottky'ego (SBD), tranzystorów IGBT i innych urządzeń.
Obróbka cieplna:Procesy wyżarzania, azotowania i karbonizacji.
Utlenianie i dyfuzja:Stabilna platforma podtrzymująca płytkę, przeznaczona do utleniania i dyfuzji w wysokiej temperaturze.

Dane techniczne

Przedmiot	Specyfikacja
Tworzywo	Wysokiej czystości węglik krzemu (SiC)
Rozmiar opłatka	4 cale / 6 cali / 8 cali (możliwość dostosowania)
Maksymalna temperatura pracy.	≤ 1800°C
Rozszerzalność cieplna CTE	4,2 × 10⁻⁶ /K (blisko podłoża SiC)
Przewodność cieplna	120–200 W/mK
Chropowatość powierzchni	Ra < 0,2 μm
Równoległość	±0,1 mm
Żywotność	≥ 3× dłuższe niż łódki kwarcowe

Porównanie: łódź kwarcowa kontra łódź SiC

Wymiar	Łódź kwarcowa	Łódź SiC
Odporność na temperaturę	≤ 1200°C, odkształcenie w wysokiej temperaturze.	≤ 1800°C, stabilny termicznie
Dopasowanie CTE z SiC	Duża niezgodność, ryzyko naprężenia płytki	Ścisłe dopasowanie, zmniejsza pękanie płytek
Zanieczyszczenie cząsteczkowe	Wysoki, generuje zanieczyszczenia	Niska, gładka i gęsta powierzchnia
Żywotność	Krótkie, częste wymiany	Długa, 3–5 razy dłuższa żywotność
Odpowiedni proces	Konwencjonalna epitaksja Si	Zoptymalizowany pod kątem epitaksji SiC i urządzeń zasilających

FAQ – Łodzie z płytek z węglika krzemu (SiC)

1. Czym jest łódź z płytek SiC?

Łódeczka na wafle SiC to nośnik półprzewodnikowy wykonany z węglika krzemu o wysokiej czystości. Służy do utrzymywania i transportu płytek w procesach wysokotemperaturowych, takich jak epitaksja, utlenianie, dyfuzja i wyżarzanie. W porównaniu z tradycyjnymi łódeczkami kwarcowymi, łódeczki na wafle SiC oferują lepszą stabilność termiczną, mniejsze zanieczyszczenie i dłuższą żywotność.

2. Dlaczego warto wybrać łódeczki z płytek SiC zamiast łódeczek kwarcowych?

Wyższa odporność na temperaturę:Stabilny do 1800°C w porównaniu z kwarcem (≤1200°C).
Lepsze dopasowanie CTE:Blisko podłoży SiC, co minimalizuje naprężenia i pęknięcia płytek.
Niższa generacja cząstek:Gładka, gęsta powierzchnia zmniejsza zanieczyszczenie.
Dłuższa żywotność:3–5 razy dłużej niż łodzie kwarcowe, co obniża koszty posiadania.

3. Jakie rozmiary płytek są obsługiwane przez łodzie na płytki SiC?

Oferujemy standardowe projekty dla4-calowy, 6-calowy i 8-calowywafli, z możliwością pełnego dostosowania do potrzeb klienta.

4. W jakich procesach najczęściej stosuje się łódki z płytek SiC?

Wzrost epitaksjalny SiC
Produkcja elementów półprzewodnikowych mocy (MOSFET-y SiC, SBD, IGBT)
Wyżarzanie w wysokiej temperaturze, azotowanie i karbonizacja
Procesy utleniania i dyfuzji

O nas

Firma XKH specjalizuje się w rozwoju, produkcji i sprzedaży zaawansowanych technologicznie specjalistycznych szkieł optycznych i nowych materiałów kryształowych. Nasze produkty znajdują zastosowanie w elektronice optycznej, elektronice użytkowej oraz w wojsku. Oferujemy komponenty optyczne z szafiru, obudowy soczewek do telefonów komórkowych, ceramikę, płytki LT, węglik krzemu SIC, kwarc oraz kryształy półprzewodnikowe. Dzięki specjalistycznej wiedzy i najnowocześniejszemu sprzętowi, specjalizujemy się w przetwarzaniu produktów niestandardowych, dążąc do bycia wiodącym przedsiębiorstwem high-tech w branży materiałów optoelektronicznych.