Krzemowa taca z węglikiem ceramiczna Sucker Sulikon węglika ceramiczna Zaopatrzenie w ceramiczną rurkę Wysoka temperaturę

Krzemowa węglika ceramiczna taca frajer krzemowa rurka ceramiczna Zaopatrzenie w spiekanie Wysokie temperaturę Niestandardowe przetwarzanie

Krótki opis:

Krzemowa taca ceramiczna i krzemowe rurki z węglika krzemowego są niezbędnymi materiałami o wysokiej wydajności w produkcji półprzewodników. Taca ceramiczna z węglika krzemu jest wykorzystywana głównie w stałym i łożysku przetwarzania wafla, aby zapewnić stabilność procesu precyzyjnego; Rurki ceramiczne z węglików krzemowych są szeroko stosowane w rurkach do pieca w wysokiej temperaturze, rurkach do pieca dyfuzyjnego i innych scenariuszach, aby wytrzymać ekstremalne środowiska i utrzymać skuteczne zarządzanie termicznie. Oba oparte są na węgliku krzemu jako materiał podstawowy, który stał się kluczowym elementem w przemyśle półprzewodników ze względu na jego doskonałe właściwości fizyczne i chemiczne.

Wyślij do nas e -mail

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Główne funkcje:

1. Taca ceramiczna z węglików krzemowych
- Wysoka twardość i odporność na zużycie: Twardość jest blisko diamentu i może wytrzymać zużycie mechaniczne w przetwarzaniu waflowym przez długi czas.
- Wysoka przewodność cieplna i niski współczynnik rozszerzania cieplnego: szybkie rozpraszanie ciepła i stabilność wymiarowa, unikając odkształcenia spowodowanego naprężeniem termicznym.
- Wysoka płaskość i wykończenie powierzchni: płaskość powierzchni jest do poziomu mikrona, zapewniając pełny kontakt między waflem i dysku, zmniejszając zanieczyszczenie i uszkodzenie.
Stabilność chemiczna: silna odporność na korozję, odpowiednia do procesów czyszczenia i trawienia na mokro w produkcji półprzewodnikowej.
2. Rurka ceramiczna z węglika krzemowego
- Odporność w wysokiej temperaturze: przez długi czas może działać w środowisku o wysokiej temperaturze powyżej 1600 ° C, odpowiednie do procesu wysokiej temperatury półprzewodników.
Doskonała odporność na korozję: odporna na kwasy, alkalis i różnorodne rozpuszczalniki chemiczne, odpowiednie dla trudnych środowisk procesowych.
- Wysoka twardość i odporność na zużycie: odporność na erozję cząstek i zużycie mechaniczne, wydłuża żywotność usług.
- Wysoka przewodność cieplna i niski współczynnik rozszerzenia cieplnego: szybkie przewodzenie ciepła i stabilności wymiarowej, zmniejszenie deformacji lub pęknięcia spowodowane naprężeniem termicznym.

Parametr produktu ：

Krzemowy parametr tacki ceramicznej z węglikiem krzemowym:

(Właściwość materialna)		(Jednostka)	(SSIC)
(Treść sic)		(Wt)%	> 99
(Średnia wielkość ziarna)		mikron	4-10
(Gęstość)		KG/DM3	> 3.14
(Pozorna porowatość)		VO1%	<0,5
(Twardość Vickers)	HV 0,5	GPA	28
() Siła zginania (trzy punkty)	20ºC	MPA	450
(Siła ściskająca)	20ºC	MPA	3900
(Moduł sprężysty)	20ºC	GPA	420
(Wytrzymałość złamań)		MPA/M '%	3.5
(Przewodność cieplna)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Oporność)	20 ° ºC	OHM.CM	106-108
(Współczynnik rozszerzalności termicznej)	A (RT ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maksymalna temperatura robocza)		oºc	1700

Parametr rurki ceramicznej krzemowej węglika:

Rzeczy	Indeks
α-SIC	99% min
Pozorna porowatość	16% maks
Gęstość luzem	2,7 g/cm3 min
Wytrzymałość zginania w wysokiej temperaturze	100 MPa min
Współczynnik rozszerzalności cieplnej	K -1 4.7x10 -6
Współczynnik przewodności cieplnej (1400ºC)	24 w/mk
Max. Temperatura pracy	1650ºC

Główne aplikacje:

1. Krzemowa płytka ceramiczna z węglikiem krzemionowym
- Cięcie i polerowanie opłatek: służy jako platforma łożyska, aby zapewnić wysoką precyzję i stabilność podczas cięcia i polerowania.
- Proces litografii: Wafel jest ustalany w maszynie litograficznej, aby zapewnić wysoką precyzyjną pozycjonowanie podczas ekspozycji.
- Chemiczne polerowanie mechaniczne (CMP): działa jako platforma wsparcia do polerowania, zapewniając jednolity ciśnienie i rozkład ciepła.
2. Rurka ceramiczna z węglika krzemowego
- Rurka pieca w wysokiej temperaturze: stosowana do sprzętu o wysokiej temperaturze, takich jak piec dyfuzyjny i piec utleniania do przenoszenia płytek do obróbki procesu w wysokiej temperaturze.
- Proces CVD/PVD: jako rurka łożyska w komorze reakcyjnej, odporna na wysokie temperatury i gazy korozyjne.
- Akcesoria do sprzętu półprzewodnikowego: W przypadku wymienników ciepła, rurociągów gazowych itp. W celu poprawy wydajności zarządzania termicznego sprzętu.
XKH oferuje pełną gamę niestandardowych usług dla krzemowych tac ceramicznych, kubków ssących i krzemowych rur ceramicznych. Krzemowe tacki ceramiczne i kubki ssące, XKH można dostosować zgodnie z wymaganiami klientów o różnych rozmiarach, kształtach i chropowatości powierzchni oraz obsługiwać specjalne obróbkę powłok, zwiększ odporność na zużycie i odporność na korozję; W przypadku rur ceramicznych z węglika krzemu XKH może dostosować różnorodne średnicę wewnętrzną, średnicę zewnętrzną, długość i złożoną strukturę (takie jak rurka ukształtowana lub porowata rurka) oraz zapewnić polerowanie, powłokę przeciwutleniającą i inne procesy oczyszczania powierzchni. XKH zapewnia, że klienci mogą w pełni wykorzystać korzyści z wydajności produktów ceramicznych z węglika krzemu, aby spełnić wymagające wymagania wysokiej klasy pól produkcyjnych, takich jak półprzewodniki, diody LED i fotowoltaiki.