Przyssawka z tacki ceramicznej z węglika krzemu Rurka ceramiczna z węglika krzemu dostarcza spiekanie w wysokiej temperaturze, obróbka na zamówienie
Główne cechy:
1. Tacka ceramiczna z węglika krzemu
- Wysoka twardość i odporność na zużycie: twardość zbliżona do diamentu, wytrzymuje zużycie mechaniczne występujące w procesie obróbki płytek przez długi czas.
- Wysoka przewodność cieplna i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej: szybkie odprowadzanie ciepła i stabilność wymiarowa, zapobiegające odkształceniom wywołanym naprężeniami cieplnymi.
- Wysoka płaskość i wykończenie powierzchni: Płaskość powierzchni sięga poziomu mikronów, co zapewnia pełny kontakt między płytką a dyskiem, redukując zanieczyszczenie i uszkodzenia.
Stabilność chemiczna: Wysoka odporność na korozję, nadaje się do czyszczenia na mokro i procesów trawienia w produkcji półprzewodników.
2. Rurka ceramiczna z węglika krzemu
- Odporność na wysoką temperaturę: Może pracować w środowisku o wysokiej temperaturze powyżej 1600°C przez długi czas, nadaje się do wysokotemperaturowych procesów półprzewodnikowych.
Doskonała odporność na korozję: odporne na działanie kwasów, zasad i wielu rozpuszczalników chemicznych, przystosowane do pracy w trudnych warunkach procesowych.
- Wysoka twardość i odporność na zużycie: odporność na erozję cząsteczkową i zużycie mechaniczne, wydłużona żywotność.
- Wysoka przewodność cieplna i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej: szybkie przewodzenie ciepła i stabilność wymiarowa, redukujące odkształcenia lub pęknięcia spowodowane naprężeniami cieplnymi.
Parametry produktu:
Parametry tacy ceramicznej z węglika krzemu:
| (Właściwość materiału) | (Jednostka) | (ssic) | |
| (Zawartość SiC) | (Wt)% | >99 | |
| (Średnia wielkość ziarna) | mikron | 4-10 | |
| (Gęstość) | kg/dm3 | >3,14 | |
| (Pozorna porowatość) | Vo1% | <0,5 | |
| (Twardość Vickersa) | Wysokie napięcie 0,5 | GPa | 28 |
| *() Wytrzymałość na zginanie* (trzy punkty) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Wytrzymałość na ściskanie) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Moduł sprężystości) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Wytrzymałość na pękanie) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Przewodność cieplna) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
| (Oporność) | 20°C | Ohm.cm | 106-108 |
(Współczynnik rozszerzalności cieplnej) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Maksymalna temperatura pracy) | oºC | 1700 | |
Parametry rurki ceramicznej z węglika krzemu:
| Rzeczy | Indeks |
| α-SIC | 99% min |
| Widoczna porowatość | 16% maks. |
| Gęstość objętościowa | 2,7 g/cm3 min |
| Wytrzymałość na zginanie w wysokiej temperaturze | 100 MPa min |
| Współczynnik rozszerzalności cieplnej | K-1 4,7x10-6 |
| Współczynnik przewodnictwa cieplnego (1400ºC) | 24 W/mk |
| Maksymalna temperatura pracy | 1650ºC |
Główne zastosowania:
1. Płytka ceramiczna z węglika krzemu
- Cięcie i polerowanie płytek: służy jako platforma nośna, zapewniająca wysoką precyzję i stabilność podczas cięcia i polerowania.
- Proces litografii: Płytkę umieszcza się w maszynie litograficznej, co pozwala na precyzyjne pozycjonowanie podczas naświetlania.
- Polerowanie chemiczno-mechaniczne (CMP): działa jako platforma nośna dla tarcz polerskich, zapewniając równomierny nacisk i rozprowadzanie ciepła.
2. Rurka ceramiczna z węglika krzemu
- Rura pieca wysokotemperaturowego: stosowana w urządzeniach wysokotemperaturowych, takich jak piece dyfuzyjne i piece utleniające, do przenoszenia płytek poddawanym obróbce w wysokiej temperaturze.
- Proces CVD/PVD: Jako rura łożyskowa w komorze reakcyjnej, odporna na wysokie temperatury i gazy korozyjne.
- Akcesoria do urządzeń półprzewodnikowych: do wymienników ciepła, gazociągów itp., służące poprawie efektywności zarządzania ciepłem urządzeń.
Firma XKH oferuje pełen zakres usług niestandardowych w zakresie tacek ceramicznych z węglika krzemu, przyssawek i rurek ceramicznych z węglika krzemu. Tace ceramiczne i przyssawki z węglika krzemu firmy XKH można dostosować do wymagań klienta, uwzględniając różne rozmiary, kształty i chropowatość powierzchni, a także zastosować specjalną obróbkę powłokową, zwiększającą odporność na zużycie i korozję. W przypadku rurek ceramicznych z węglika krzemu, firma XKH może dostosować różne średnice wewnętrzne i zewnętrzne, długość oraz złożoną strukturę (np. rurki kształtowe lub porowate), a także zapewnić polerowanie, powłokę antyoksydacyjną i inne procesy obróbki powierzchni. Firma XKH gwarantuje, że klienci mogą w pełni wykorzystać zalety produktów ceramicznych z węglika krzemu, aby sprostać wymaganiom zaawansowanych technologicznie sektorów produkcji, takich jak półprzewodniki, diody LED i fotowoltaika.
Szczegółowy diagram
