Przyssawka z węglika krzemu ceramiczna tacka Przyssawka z węglika krzemu ceramiczna rura dostarcza spiekanie w wysokiej temperaturze obróbka niestandardowa

Krótki opis:

Ceramiczna taca z węglika krzemu i ceramiczne rurki z węglika krzemu to niezbędne materiały o wysokiej wydajności w produkcji półprzewodników. Ceramiczna taca z węglika krzemu jest głównie stosowana w obróbce płytek stałych i łożyskowych, aby zapewnić stabilność procesu o wysokiej precyzji; Ceramiczne rurki z węglika krzemu są szeroko stosowane w rurach pieców wysokotemperaturowych, rurach pieców dyfuzyjnych i innych scenariuszach, aby wytrzymać ekstremalne warunki i utrzymać wydajne zarządzanie termiczne. Oba są oparte na węgliku krzemu jako materiale rdzeniowym, który stał się kluczowym komponentem w przemyśle półprzewodników ze względu na swoje doskonałe właściwości fizyczne i chemiczne.

Wyślij do nas e-mail

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Główne cechy:

1. Tacka ceramiczna z węglika krzemu
- Wysoka twardość i odporność na zużycie: twardość zbliżona do diamentu, wytrzymuje zużycie mechaniczne podczas obróbki płytek przez długi czas.
- Wysoka przewodność cieplna i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej: szybkie odprowadzanie ciepła i stabilność wymiarowa, brak deformacji wywołanych naprężeniami cieplnymi.
- Wysoka płaskość i wykończenie powierzchni: Płaskość powierzchni sięga poziomu mikronów, co zapewnia pełny kontakt pomiędzy płytką a dyskiem, redukując zanieczyszczenie i uszkodzenia.
Stabilność chemiczna: Wysoka odporność na korozję, nadaje się do procesów czyszczenia na mokro i trawienia w produkcji półprzewodników.
2. Rurka ceramiczna z węglika krzemu
- Odporność na wysoką temperaturę: Może pracować w środowisku o wysokiej temperaturze powyżej 1600°C przez długi czas, nadaje się do wysokotemperaturowych procesów półprzewodnikowych.
Doskonała odporność na korozję: odporne na kwasy, zasady i szeroką gamę rozpuszczalników chemicznych, nadają się do stosowania w trudnych warunkach procesowych.
- Wysoka twardość i odporność na zużycie: odporność na erozję cząsteczkową i zużycie mechaniczne, wydłużona żywotność.
- Wysoka przewodność cieplna i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej: szybkie przewodzenie ciepła i stabilność wymiarowa, redukująca odkształcenia lub pęknięcia wywołane naprężeniami cieplnymi.

Parametry produktu:

Parametry tacy ceramicznej z węglika krzemu:

(Właściwość materiału)		(Jednostka)	(ssic)
(Zawartość SiC)		(W)%	>99
(Średnia wielkość ziarna)		mikron	4-10
(Gęstość)		kg/dm3	>3,14
(Pozorna porowatość)		Vo1%	<0,5
(Twardość Vickersa)	WN 0,5	GPa	28
() Wytrzymałość na zginanie (trzy punkty)	20ºC	MPa	450
(Wytrzymałość na ściskanie)	20ºC	MPa	3900
(Moduł sprężystości)	20ºC	GPa	420
(Wytrzymałość na pękanie)		MPa/m'%	3.5
(Przewodność cieplna)	20°C	W/(m*K)	160
(Oporność)	20°C	Ohm.cm	106-108
(Współczynnik rozszerzalności cieplnej)	a(temperatura pokojowa**...80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maksymalna temperatura pracy)		oC	1700

Parametry rurki ceramicznej z węglika krzemu:

Rzeczy	Indeks
α-SIC	99% min
Widoczna porowatość	16% maks.
Gęstość objętościowa	2,7 g/cm3 min
Wytrzymałość na zginanie w wysokiej temperaturze	100 MPa min
Współczynnik rozszerzalności cieplnej	K-1 4,7x10-6
Współczynnik przewodnictwa cieplnego (1400ºC)	24 W/mk
Maksymalna temperatura pracy	1650ºC

Główne zastosowania:

1. Płytka ceramiczna z węglika krzemu
- Cięcie i polerowanie płytek: służy jako platforma nośna, zapewniająca wysoką precyzję i stabilność podczas cięcia i polerowania.
- Proces litografii: Płytkę umieszcza się w maszynie litograficznej, co zapewnia wysoką precyzję pozycjonowania podczas naświetlania.
- Polerowanie chemiczno-mechaniczne (CMP): działa jako platforma nośna dla tarcz polerskich, zapewniając równomierny nacisk i rozprowadzanie ciepła.
2. Rurka ceramiczna z węglika krzemu
- Rura pieca wysokotemperaturowego: stosowana w urządzeniach wysokotemperaturowych, takich jak piece dyfuzyjne i piece utleniające, do transportu płytek poddawanych obróbce w wysokiej temperaturze.
- Proces CVD/PVD: Jako rura łożyskowa w komorze reakcyjnej, odporna na wysokie temperatury i gazy korozyjne.
- Akcesoria do urządzeń półprzewodnikowych: do wymienników ciepła, gazociągów itp., służące poprawie efektywności zarządzania ciepłem urządzeń.
XKH oferuje pełen zakres niestandardowych usług dla tacek ceramicznych z węglika krzemu, przyssawek i rurek ceramicznych z węglika krzemu. Tacki ceramiczne z węglika krzemu i przyssawki, XKH mogą być dostosowane do wymagań klienta w zakresie różnych rozmiarów, kształtów i chropowatości powierzchni, a także obsługują specjalną obróbkę powłokową, zwiększają odporność na zużycie i korozję; W przypadku rurek ceramicznych z węglika krzemu, XKH może dostosować różne średnice wewnętrzne, średnice zewnętrzne, długość i złożoną strukturę (taką jak rurka kształtowa lub porowata) i zapewnić polerowanie, powłokę antyoksydacyjną i inne procesy obróbki powierzchni. XKH zapewnia, że klienci mogą w pełni wykorzystać zalety wydajnościowe produktów ceramicznych z węglika krzemu, aby sprostać wymagającym wymaganiom zaawansowanych dziedzin produkcji, takich jak półprzewodniki, diody LED i fotowoltaika.