Podłoże SiC 3 cale, grubość 350um, typ HPSI, gatunek podstawowy, gatunek pozorny
Właściwości
Parametr | Klasa produkcyjna | Stopień badawczy | Stopień manekina | Jednostka |
Stopień | Klasa produkcyjna | Stopień badawczy | Stopień manekina | |
Średnica | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Grubość | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | mikrometr |
Orientacja wafli | Na osi: <0001> ± 0,5° | Na osi: <0001> ± 2,0° | Na osi: <0001> ± 2,0° | stopień |
Gęstość mikrorury (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Rezystywność elektryczna | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Domieszka | Niedotleniona | Niedotleniona | Niedotleniona | |
Podstawowa orientacja płaska | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | stopień |
Długość płaska podstawowa | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Długość wtórna płaska | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Druga orientacja płaska | 90° CW od płaskiego punktu głównego ± 5,0° | 90° CW od płaskiego punktu głównego ± 5,0° | 90° CW od płaskiego punktu głównego ± 5,0° | stopień |
Wykluczenie krawędzi | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Łuk/Osnowa | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | mikrometr |
Chropowatość powierzchni | Powierzchnia Si: CMP, powierzchnia C: polerowana | Powierzchnia Si: CMP, powierzchnia C: polerowana | Powierzchnia Si: CMP, powierzchnia C: polerowana | |
Pęknięcia (światło o dużej intensywności) | Nic | Nic | Nic | |
Płytki sześciokątne (światło o dużej intensywności) | Nic | Nic | Łączna powierzchnia 10% | % |
Obszary politypu (światło o dużej intensywności) | Łączna powierzchnia 5% | Łączna powierzchnia 20% | Łączna powierzchnia 30% | % |
Zadrapania (światło o dużej intensywności) | ≤ 5 rys, łączna długość ≤ 150 | ≤ 10 rys, łączna długość ≤ 200 | ≤ 10 rys, łączna długość ≤ 200 | mm |
Wyszczerbienie krawędzi | Brak ≥ 0,5 mm szerokości/głębokości | Dozwolone 2 ≤ 1 mm szerokości/głębokości | 5 dozwolonych ≤ 5 mm szerokości/głębokości | mm |
Zanieczyszczenie powierzchni | Nic | Nic | Nic |
Aplikacje
1. Elektronika dużej mocy
Doskonała przewodność cieplna i szeroka przerwa energetyczna płytek SiC sprawiają, że idealnie nadają się one do urządzeń o dużej mocy i wysokiej częstotliwości:
●MOSFET-y i IGBT-y do konwersji mocy.
●Zaawansowane systemy zasilania pojazdów elektrycznych, w tym inwertery i ładowarki.
●Inteligentna infrastruktura sieciowa i systemy energii odnawialnej.
2. Systemy RF i mikrofalowe
Podłoża SiC umożliwiają zastosowania RF i mikrofal o wysokiej częstotliwości przy minimalnej utracie sygnału:
●Systemy telekomunikacyjne i satelitarne.
●Systemy radarowe dla przemysłu kosmicznego.
●Zaawansowane komponenty sieci 5G.
3. Optoelektronika i czujniki
Unikalne właściwości SiC wspierają różnorodne zastosowania optoelektroniczne:
●Detektory UV do monitorowania środowiska i wykrywania przemysłowego.
●Podłoża LED i laserowe do oświetlenia półprzewodnikowego i precyzyjnych instrumentów.
●Czujniki wysokotemperaturowe dla przemysłu lotniczego i motoryzacyjnego.
4. Badania i rozwój
Różnorodność poziomów (produkcyjny, badawczy, testowy) umożliwia przeprowadzanie nowatorskich eksperymentów i prototypów urządzeń w środowisku akademickim i przemysłowym.
Zalety
●Niezawodność:Doskonała rezystywność i stabilność na wszystkich poziomach.
●Dostosowanie:Indywidualnie dostosowane orientacje i grubości, aby spełnić różne potrzeby.
●Wysoka czystość:Niedomieszkowany skład gwarantuje minimalne wahania spowodowane zanieczyszczeniami.
●Skalowalność:Spełnia wymagania zarówno produkcji masowej, jak i badań eksperymentalnych.
3-calowe wafle SiC o wysokiej czystości są Twoją bramą do urządzeń o wysokiej wydajności i innowacyjnych osiągnięć technologicznych. W celu uzyskania zapytań i szczegółowych specyfikacji skontaktuj się z nami już dziś.
Streszczenie
3-calowe płytki z węglika krzemu o wysokiej czystości (SiC), dostępne w klasach produkcyjnych, badawczych i testowych, to najwyższej jakości podłoża przeznaczone do elektroniki dużej mocy, systemów RF/mikrofalowych, optoelektroniki i zaawansowanych prac badawczo-rozwojowych. Te płytki charakteryzują się nie domieszkowanymi, półizolacyjnymi właściwościami o doskonałej rezystywności (≥1E10 Ω·cm dla klasy produkcyjnej), niską gęstością mikrorurek (≤1 cm−2^-2−2) i wyjątkową jakością powierzchni. Są zoptymalizowane pod kątem zastosowań o wysokiej wydajności, w tym konwersji energii, telekomunikacji, wykrywania promieniowania UV i technologii LED. Dzięki konfigurowalnym orientacjom, doskonałej przewodności cieplnej i wytrzymałym właściwościom mechanicznym te płytki SiC umożliwiają wydajną, niezawodną produkcję urządzeń i przełomowe innowacje w różnych branżach.
Szczegółowy diagram



