Podłoże SiC 3 cale, grubość 350um, typ HPSI, gatunek podstawowy, gatunek pozorny
Właściwości
Parametr | Klasa produkcyjna | Stopień badawczy | Stopień manekina | Jednostka |
Stopień | Klasa produkcyjna | Stopień badawczy | Stopień manekina | |
Średnica | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Grubość | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | mikrometr |
Orientacja wafli | Na osi: <0001> ± 0,5° | Na osi: <0001> ± 2,0° | Na osi: <0001> ± 2,0° | stopień |
Gęstość mikrorury (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Oporność elektryczna | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Domieszka | Niedomieszkowany | Niedomieszkowany | Niedomieszkowany | |
Podstawowa orientacja płaska | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | stopień |
Długość płaska podstawowa | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Długość dodatkowa płaska | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Wtórna orientacja płaska | 90° CW od płaskiego głównego punktu ± 5,0° | 90° CW od płaskiego głównego punktu ± 5,0° | 90° CW od płaskiego głównego punktu ± 5,0° | stopień |
Wykluczenie krawędzi | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Łuk/Osnowa | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | mikrometr |
Chropowatość powierzchni | Si-face: CMP, C-face: Polished | Si-face: CMP, C-face: Polished | Si-face: CMP, C-face: Polished | |
Pęknięcia (światło o dużej intensywności) | Nic | Nic | Nic | |
Płytki sześciokątne (światło o dużej intensywności) | Nic | Nic | Łączna powierzchnia 10% | % |
Obszary politypowe (światło o dużej intensywności) | Łączna powierzchnia 5% | Łączna powierzchnia 20% | Łączna powierzchnia 30% | % |
Zadrapania (światło o dużej intensywności) | ≤ 5 rys, łączna długość ≤ 150 | ≤ 10 rys, łączna długość ≤ 200 | ≤ 10 rys, łączna długość ≤ 200 | mm |
Wykruszanie krawędzi | Brak ≥ 0,5 mm szerokości/głębokości | 2 dozwolone ≤ 1 mm szerokości/głębokości | 5 dozwolonych ≤ 5 mm szerokości/głębokości | mm |
Zanieczyszczenie powierzchni | Nic | Nic | Nic |
Aplikacje
1. Elektronika dużej mocy
Doskonała przewodność cieplna i szeroka przerwa energetyczna płytek SiC sprawiają, że idealnie nadają się one do urządzeń o dużej mocy i wysokiej częstotliwości:
●MOSFET-y i IGBT do konwersji mocy.
●Zaawansowane systemy zasilania pojazdów elektrycznych, w tym inwertery i ładowarki.
●Inteligentna infrastruktura sieciowa i systemy energii odnawialnej.
2. Systemy RF i mikrofalowe
Podłoża SiC umożliwiają zastosowania RF i mikrofal o wysokiej częstotliwości przy minimalnej utracie sygnału:
●Systemy telekomunikacyjne i satelitarne.
●Systemy radarowe dla przemysłu kosmicznego.
●Zaawansowane komponenty sieci 5G.
3. Optoelektronika i czujniki
Unikalne właściwości SiC wspierają szereg zastosowań optoelektronicznych:
●Detektory UV do monitorowania środowiska i czujników przemysłowych.
●Podłoża LED i laserowe do oświetlenia półprzewodnikowego i precyzyjnych instrumentów.
●Czujniki wysokotemperaturowe dla przemysłu lotniczego i motoryzacyjnego.
4. Badania i rozwój
Różnorodność poziomów (produkcja, badania, modele testowe) umożliwia przeprowadzanie nowatorskich eksperymentów i prototypów urządzeń w środowisku akademickim i przemysłowym.
Zalety
●Niezawodność:Doskonała rezystywność i stabilność w różnych klasach.
●Personalizacja:Indywidualnie dostosowane orientacje i grubości, aby spełnić różne potrzeby.
●Wysoka czystość:Niedomieszkowany skład gwarantuje minimalne wahania spowodowane zanieczyszczeniami.
●Skalowalność:Spełnia wymagania zarówno produkcji masowej, jak i badań eksperymentalnych.
3-calowe wafle SiC o wysokiej czystości to Twoja brama do wysokowydajnych urządzeń i innowacyjnych osiągnięć technologicznych. Aby uzyskać szczegółowe informacje i specyfikacje, skontaktuj się z nami już dziś.
Streszczenie
3-calowe wafle z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości, dostępne w wersjach produkcyjnej, badawczej i testowej, to wysokiej jakości podłoża przeznaczone do elektroniki dużej mocy, systemów RF/mikrofalowych, optoelektroniki oraz zaawansowanych prac badawczo-rozwojowych. Wafle te charakteryzują się nie domieszkowanymi, półizolacyjnymi właściwościami, doskonałą rezystywnością (≥1E10 Ω·cm dla wersji produkcyjnej), niską gęstością mikrorurek (≤1 cm−2^-2−2) i wyjątkową jakością powierzchni. Są zoptymalizowane pod kątem wysokowydajnych zastosowań, takich jak przetwarzanie energii, telekomunikacja, czujniki UV i technologie LED. Dzięki możliwości dostosowania orientacji, doskonałej przewodności cieplnej i solidnym właściwościom mechanicznym, te wafle SiC umożliwiają wydajną i niezawodną produkcję urządzeń oraz przełomowe innowacje w wielu branżach.
Szczegółowy diagram



