Ramię do przenoszenia efektora końcowego z ceramiki SiC do przenoszenia płytek

Ramię chwytające efektora końcowego z ceramiki SiC do przenoszenia płytek Obraz wyróżniający

Krótki opis:

Wafle LiNbO₃ stanowią złoty standard w zintegrowanej fotonice i precyzyjnej akustyce, zapewniając niezrównaną wydajność w nowoczesnych systemach optoelektronicznych. Jako wiodący producent dopracowaliśmy sztukę produkcji tych inżynieryjnych podłoży dzięki zaawansowanym technikom równoważenia transportu pary, osiągając wiodącą w branży doskonałość krystaliczną z gęstością defektów poniżej 50/cm².

Możliwości produkcyjne XKH obejmują średnice od 75 mm do 150 mm, z precyzyjną kontrolą orientacji (cięcie X/Y/Z ±0,3°) i specjalistycznymi opcjami domieszkowania, w tym pierwiastkami ziem rzadkich. Unikalne połączenie właściwości wafli LiNbO₃ – w tym ich niezwykły współczynnik r₃₃ (32±2 pm/V) i szeroka przezroczystość od bliskiego UV do średniej podczerwieni – sprawia, że są one niezbędne dla obwodów fotonicznych nowej generacji i urządzeń akustycznych o wysokiej częstotliwości.

Wyślij do nas e-mail

Cechy

Efektor końcowy z ceramiki SiC Streszczenie

Ceramiczny efektor końcowy SiC (węglik krzemu) jest krytycznym elementem w systemach obsługi płytek o wysokiej precyzji stosowanych w produkcji półprzewodników i zaawansowanych środowiskach mikrowytwarzania. Zaprojektowany tak, aby spełniać wysokie wymagania ultraczystych, wysokotemperaturowych i wysoce stabilnych środowisk, ten specjalistyczny efektor końcowy zapewnia niezawodny i wolny od zanieczyszczeń transport płytek podczas kluczowych etapów produkcji, takich jak litografia, trawienie i osadzanie.

Wykorzystując doskonałe właściwości materiałowe węglika krzemu — takie jak wysoka przewodność cieplna, ekstremalna twardość, doskonała obojętność chemiczna i minimalna rozszerzalność cieplna — ceramiczny efektor końcowy SiC oferuje niezrównaną sztywność mechaniczną i stabilność wymiarową nawet przy szybkich cyklach termicznych lub w komorach procesów korozyjnych. Jego niskie właściwości generowania cząstek i odporność na plazmę sprawiają, że jest on szczególnie odpowiedni do zastosowań w czystych pomieszczeniach i przetwarzaniu próżniowym, gdzie zachowanie integralności powierzchni wafli i redukcja zanieczyszczeń cząsteczkowych mają kluczowe znaczenie.

Zastosowanie ceramicznego efektora końcowego SiC

1. Postępowanie z płytkami półprzewodnikowymi

Ceramiczne efektory końcowe SiC są szeroko stosowane w przemyśle półprzewodnikowym do obsługi płytek krzemowych podczas zautomatyzowanej produkcji. Te efektory końcowe są zazwyczaj montowane na ramionach robotów lub w systemach transferu próżniowego i są zaprojektowane tak, aby pomieścić płytki o różnych rozmiarach, takich jak 200 mm i 300 mm. Są niezbędne w procesach, w tym chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD), trawienia i dyfuzji — gdzie powszechne są wysokie temperatury, warunki próżniowe i gazy korozyjne. Wyjątkowa odporność termiczna i stabilność chemiczna SiC sprawiają, że jest to idealny materiał do wytrzymywania tak trudnych warunków bez degradacji.

2. Zgodność z pomieszczeniami czystymi i odkurzaczami

W pomieszczeniach czystych i próżniowych, gdzie zanieczyszczenie cząsteczkami musi być zminimalizowane, ceramika SiC oferuje znaczące zalety. Gęsta, gładka powierzchnia materiału jest odporna na generowanie cząsteczek, co pomaga zachować integralność wafli podczas transportu. Dzięki temu efektory końcowe SiC są szczególnie dobrze przystosowane do krytycznych procesów, takich jak litografia w ekstremalnym ultrafiolecie (EUV) i osadzanie warstw atomowych (ALD), gdzie czystość ma kluczowe znaczenie. Ponadto niskie odgazowywanie i wysoka odporność na plazmę SiC zapewniają niezawodną pracę w komorach próżniowych, wydłużając żywotność narzędzi i zmniejszając częstotliwość konserwacji.

3. Systemy pozycjonowania o wysokiej precyzji

Precyzja i stabilność są kluczowe w zaawansowanych systemach obsługi płytek, szczególnie w metrologii, inspekcji i sprzęcie do wyrównywania. Ceramika SiC ma wyjątkowo niski współczynnik rozszerzalności cieplnej i wysoką sztywność, co pozwala efektorowi końcowemu zachować dokładność strukturalną nawet w przypadku cykli termicznych lub obciążeń mechanicznych. Dzięki temu płytki pozostają precyzyjnie wyrównane podczas transportu, minimalizując ryzyko mikrozarysowań, rozbieżności lub błędów pomiarowych — czynników, które są coraz bardziej krytyczne w węzłach procesowych sub-5 nm.

Właściwości efektora końcowego z ceramiki SiC

1. Wysoka wytrzymałość mechaniczna i twardość

Ceramika SiC posiada wyjątkową wytrzymałość mechaniczną, często przekraczającą 400 MPa i wartości twardości Vickersa powyżej 2000 HV. Dzięki temu jest ona wysoce odporna na naprężenia mechaniczne, uderzenia i zużycie, nawet po długotrwałym użytkowaniu. Wysoka sztywność SiC minimalizuje również ugięcie podczas szybkich transferów płytek, zapewniając dokładne i powtarzalne pozycjonowanie.

2. Doskonała stabilność termiczna

Jedną z najcenniejszych właściwości ceramiki SiC jest jej zdolność do wytrzymywania ekstremalnie wysokich temperatur — często do 1600°C w atmosferach obojętnych — bez utraty integralności mechanicznej. Ich niski współczynnik rozszerzalności cieplnej (~4,0 x 10⁻⁶ /K) zapewnia stabilność wymiarową podczas cykli cieplnych, co czyni je idealnymi do zastosowań takich jak CVD, PVD i wyżarzanie w wysokiej temperaturze.

Pytania i odpowiedzi dotyczące efektora końcowego z ceramiki SiC

P: Jakiego materiału użyto do wykonania końcówki płytki?

A:Efektory końcowe wafli są zazwyczaj wykonane z materiałów, które oferują wysoką wytrzymałość, stabilność termiczną i niską generację cząstek. Spośród nich ceramika węglika krzemu (SiC) jest jednym z najbardziej zaawansowanych i preferowanych materiałów. Ceramika SiC jest niezwykle twarda, stabilna termicznie, chemicznie obojętna i odporna na zużycie, co czyni ją idealną do obsługi delikatnych płytek krzemowych w środowiskach czystych pomieszczeń i próżni. W porównaniu z kwarcem lub metalami powlekanymi, SiC oferuje lepszą stabilność wymiarową w wysokich temperaturach i nie traci cząstek, co pomaga zapobiegać zanieczyszczeniom.