Sic ceramiczne taca ceramiczne kubki ssące precyzyjne obróbka dostosowań

Sic ceramiczne chuck taca ceramiczne kubki ssące precyzyjne obróbka niestandardowa wizerunek

Krótki opis:

Surz ceramiczny taca z węglika krzemu jest idealnym wyborem do produkcji półprzewodników ze względu na wysoką twardość, wysoką przewodność cieplną i doskonałą stabilność chemiczną. Jego wysoka płaskość i wykończenie powierzchni zapewniają pełny kontakt między opłatą i frajerem, zmniejszając zanieczyszczenie i uszkodzenie; Wysoka temperatura i odporność na korozję sprawiają, że jest odpowiedni dla trudnych środowisk procesowych; Jednocześnie lekka konstrukcja i długie cechy życia zmniejszają koszty produkcji i są niezbędnymi kluczowymi elementami w cięciu, polerowaniu, litografii i innych procesach.

Wyślij do nas e -mail

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Charakterystyka materialna:

1. Wysokość twardości: Twardość mohów węgliku krzemu wynosi 9,2-9,5, drugie tylko do diamentu, z silną odpornością na zużycie.
2. Wysoka przewodność cieplna: Przewodnictwo cieplne węgliku krzemu jest tak wysokie, jak 120-200 W/M · K, co może szybko rozproszyć ciepło i nadaje się do środowiska o wysokiej temperaturze.
3. Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej: Współczynnik rozszerzalności cieplnej węgla krzemu jest niski (4,0-4,5 × 10⁻⁶/k), może nadal utrzymać stabilność wymiarową w wysokiej temperaturze.
4. Stabilność chemiczna: odporność na kwas węgełny krzemu i korozji alkaliczne, odpowiednie do stosowania w chemicznym środowisku korozyjnym.
5. Wysoka wytrzymałość mechaniczna: Krzemowy węglik ma wysoką wytrzymałość na zginanie i wytrzymałość na ściskanie i może wytrzymać duży naprężenie mechaniczne.

Cechy:

1. W przemyśle półprzewodników należy umieścić wyjątkowo cienkie wafle na kubku ssącym próżniowe, ssanie próżniowe służy do naprawy płytek, a proces woskowania, przerzedzania, woskowania, czyszczenia i cięcia jest wykonywany na waflach.
2. Usunka z węglików mózgowych ma dobrą przewodność cieplną, może skutecznie skrócić czas woskowania i woskowania, poprawić wydajność produkcji.
3. Sucik odciśnięcia węglika Silicon ma również dobrą odporność na korozję kwasu i alkaliów.
4. Złożony tradycyjną płytą nośną Corundum, skrócone obciążenie i rozładowywanie czasu ogrzewania i chłodzenia, poprawia wydajność pracy; Jednocześnie może zmniejszyć zużycie między górnymi i dolnymi płytami, zachować dobrą dokładność samolotu i wydłużyć żywotność usług o około 40%.
5. Proporcja materiału jest niewielka, lekka. Operatorom łatwiej jest nosić palety, zmniejszając ryzyko uszkodzeń zderzenia spowodowanych trudnościami w transporcie o około 20%.
6. Rozmiar: maksymalna średnica 640 mm; Płaskość: 3um lub mniej

Pole aplikacji:

1. Produkcja półprzewodników
● Przetwarzanie opłat:
W celu utrwalenia waflowania w fotolitografii, trawienia, osadzania się cienkiego warstwy i innych procesów, zapewniając wysoką dokładność i spójność procesu. Jego odporność na wysoką temperaturę i korozję nadaje się do trudnych środowisk produkcyjnych półprzewodników.
● Wzrost epitaksjalny:
W wzroście epitaksyjnym SIC lub GAN, jako nośnik ogrzewania i ustalania płytek, zapewniając jednolitość temperatury i jakość kryształów w wysokich temperaturach, poprawiając wydajność urządzenia.
2. Sprzęt fotoelektryczny
● Produkcja LED:
Służy do naprawy podłoża szafirowego lub SIC oraz jako nośnika grzewczego w procesie MOCVD, aby zapewnić jednolitość wzrostu epitaksjalnego, poprawić wydajność i jakość LED.
● Dioda laserowa:
Jako wyposażenie, mocowanie i podgrzewanie podłoża, aby zapewnić stabilność temperatury procesu, poprawić moc wyjściową i niezawodność diody laserowej.
3. Precyzja obróbka
● Przetwarzanie komponentów optycznych:
Służy do ustalania komponentów precyzyjnych, takich jak soczewki optyczne i filtry, aby zapewnić wysoką precyzję i niskie zanieczyszczenie podczas przetwarzania, i nadaje się do obróbki o wysokiej intensywności.
● Przetwarzanie ceramiczne:
Jako urządzenie o wysokiej stabilności nadaje się do precyzyjnego obróbki materiałów ceramicznych, aby zapewnić dokładność obróbki i spójność w środowisku o wysokiej temperaturze i korozyjnym.
4. Eksperymenty naukowe
● Eksperyment o wysokiej temperaturze:
Jako urządzenie utrwalania próbki w środowiskach wysokiej temperatury obsługuje ekstremalne eksperymenty temperaturowe powyżej 1600 ° C, aby zapewnić jednorodność temperatury i stabilność próbki.
● Test próżniowy:
Jako naprawianie próbki i podgrzewania w środowisku próżniowym, aby zapewnić dokładność i powtarzalność eksperymentu, odpowiednie do powlekania próżniowego i obróbki cieplnej.

Specyfikacje techniczne ：

(Właściwość materialna)		(Jednostka)	(SSIC)
(Treść sic)		(Wt)%	> 99
(Średnia wielkość ziarna)		mikron	4-10
(Gęstość)		KG/DM3	> 3.14
(Pozorna porowatość)		VO1%	<0,5
(Twardość Vickers)	HV 0,5	GPA	28
(Siła zginania) (trzy punkty)	20ºC	MPA	450
(Siła ściskająca)	20ºC	MPA	3900
(Moduł sprężysty)	20ºC	GPA	420
(Wytrzymałość złamań)		MPA/M '%	3.5
(Przewodność cieplna)	20 ° ºC	*W/(mk)**	160
(Oporność)	20 ° ºC	OHM.CM	106-108
(Współczynnik rozszerzalności termicznej)	A (RT ... 80ºC)**	*K-110-6**	4.3
(Maksymalna temperatura robocza)		oºc	1700

Dzięki latom akumulacji technicznej i doświadczenia w branży, XKH jest w stanie dostosować kluczowe parametry, takie jak rozmiar, metoda ogrzewania i projekt adsorpcji próżniowej Chucka zgodnie z konkretnymi potrzebami klienta, zapewniając, że produkt jest doskonale dostosowywany do procesu klienta. Ceramiczne chucki z węglików silikonowych stały się niezbędnymi składnikami w przetwarzaniu opłat, wzrostu epitaksjalnego i innych kluczowych procesach ze względu na ich doskonałą przewodność cieplną, stabilność w wysokiej temperaturze i stabilność chemiczną. Zwłaszcza w produkcji materiałów półprzewodników trzeciej generacji, takich jak SIC i GAN, zapotrzebowanie na krzemowe z węgliki z węglikami stale rośnie. W przyszłości, wraz z szybkim rozwojem 5G, pojazdów elektrycznych, sztucznej inteligencji i innych technologii, perspektywy aplikacji krzemowych chucków ceramicznych w branży półprzewodników będą szersze.