Rurki szafirowe pręty szafirowe o specjalnym kształcie wysokociśnieniowe KY i EFG
Opis
Pręty szafirowe są używane w szerokim zakresie zastosowań. Pręt szafirowy może być wykonany ze wszystkimi powierzchniami polerowanymi do zastosowań optycznych i ścieralnych lub ze wszystkimi powierzchniami drobno szlifowanymi (niepolerowanymi), aby służyć jako izolator.
Technologia
Podczas procesu wyciągania rurek szafirowych z roztopu za pomocą zarodka, wzdłużny gradient temperatury w strefie między zestalonym frontem a obszarem wyciągania, gdzie temperatura wynosi od 1850 do 1900 stopni Celsjusza, jest utrzymywany nie przekraczając 30 stopni Celsjusza/cm. Tak wyhodowana rurka jest wyżarzana w temperaturze od 1950 do 2000 stopni Celsjusza, poprzez zwiększanie temperatury w tempie od 30 do 40 stopni Celsjusza/min i utrzymywanie rurki w tej temperaturze przez okres od 3 do 4 godzin. Następnie rurka jest schładzana do temperatury pokojowej w tempie 30-40 stopni Celsjusza/min.
Zastosowania w przetwarzaniu półprzewodników:
(HPD CVD, PECVD, trawienie na sucho, trawienie na mokro)
Rurka aplikatora plazmowego
Dysze wtryskiwaczy gazu procesowego
Detektor punktów końcowych
Lampy koronowe Excimer
Rury do przechowywania plazmy
Maszyna do uszczelniania rur plazmowych to urządzenie służące do hermetyzacji podzespołów elektronicznych. Jej zasada działania polega na wykorzystaniu wysokiej temperatury i wysokiego ciśnienia plazmy do stopienia materiału opakowaniowego i hermetyzacji go na elemencie. Główne elementy maszyny do uszczelniania rur plazmowych obejmują generator plazmy, komorę uszczelniania rur, układ próżniowy, układ sterowania itp.
Osłona ochronna termopary (osłona termiczna): Termopara to powszechnie stosowany element pomiarowy temperatury w przyrządach do pomiaru temperatury. Mierzy ona temperaturę bezpośrednio i zamienia sygnał temperatury na sygnał siły elektromotorycznej termoelektrycznej, za pośrednictwem przyrządu elektrycznego (przyrządu wtórnego) na temperaturę mierzonego medium.
Uzdatnianie wody/czyszczenie
Właściwości rurki szafirowej (teoretyczne)
| Wzór złożony | Al2O3 |
| Masa cząsteczkowa | 101,96 |
| Wygląd | Rurki przezroczyste |
| Temperatura topnienia | 2050 °C (3720 °F) |
| Temperatura wrzenia | 2977°C (5391°F) |
| Gęstość | 4,0g/cm3 |
| Morfologia | Trygonalny (sześciokątny), R3c |
| Rozpuszczalność w H2O | 98 x 10-6g/100g |
| Współczynnik załamania światła | 1.8 |
| Rezystywność elektryczna | 17 10x Ω-m |
| Współczynnik Poissona | 0,28 |
| Ciepło właściwe | 760 J kg-1 K-1 (293 tys.) |
| Wytrzymałość na rozciąganie | 1390 MPa (ostateczne) |
| Przewodność cieplna | 30 W/mK |
| Rozszerzalność cieplna | 5,3 µm/mK |
| Moduł Younga | 450 GPa |
| Dokładna masa | 101,948 g/mol |
| Masa monoizotopowa | 101.94782 Dzień |
Szczegółowy diagram
