Wafel ze szkła kwarcowego JGS1 JGS2 BF33 Wafel 8 cali 12 cali 725 ± 25 um lub dostosowany
Specyfikacja
Spec | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
Średnica | 100mm | 150mm | 200 mm | 250mm | 300 mm |
Grubość | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Mieszkanie pierwotne | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Wycięcie | Karb | Karb | Karb |
LTV (5 mm x 5 mm) | < 0,5um | < 0,5um | < 0,5um | < 0,5um | < 0,5um |
TTV | < 2um | < 3um | <3um | <10um | <10um |
Ukłon | ±20um | ±30um | ±40um | ±40um | ±40um |
Osnowa | ≤ 30um | ≤ 40um | ≤ 70um | ≤ 80um | ≤ 80um |
Zaokrąglanie krawędzi | Zgodny ze standardem SEMI M1.2/patrz IEC62276 | ||||
Typ powierzchni | Polerowana jednostronnie / polerowana dwustronnie | ||||
Strona polerowana Ra | Ra≤1nm | ||||
Kryteria tylnej strony | Ra 0,2-0,7um lub dostosowane |
Wafel ze szkła kwarcowego JGS1 JGS2 BF33 Tabela parametrów wafla
Aplikacja
Wafle ze szkła kwarcowego wykonane z JGS1, JGS2 i BF33 są szeroko stosowane w różnych gałęziach przemysłu wymagających dużej precyzji. Płytki te idealnie nadają się do produkcji półprzewodników, w tym podłoży do fotomasek i optyki na poziomie płytki. Nadają się również do elementów optycznych, laserów i czujników w branżach takich jak telekomunikacja, lotnictwo i urządzenia medyczne. Ich wysoka stabilność termiczna i odporność na szok termiczny czyni je idealnymi do środowisk o ekstremalnych temperaturach, a ich wyjątkowa przepuszczalność ma kluczowe znaczenie dla optyki ultrafioletowej (UV) i podczerwieni (IR).
Właściwości
Rodzaje materiałów:
JGS1: Wysoka przepuszczalność UV, doskonała do zastosowań w świetle ultrafioletowym.
JGS2: Zrównoważona przepuszczalność w zakresie UV, światła widzialnego i podczerwieni, odpowiednia do ogólnych zastosowań optycznych.
BF33: Szkło borokrzemowe o wysokiej odporności chemicznej i trwałości termicznej. Opcje rozmiarów:
Dostępne w standardowych rozmiarach płytek 8-calowych i 12-calowych.
Rozmiary niestandardowe mogą być produkowane w oparciu o określone wymagania. Grubość:
Standardowa grubość wynosi 725 ± 25 μm.
Możliwość dostosowania grubości, aby spełnić różne potrzeby przemysłowe.
Właściwości termiczne:
Doskonała stabilność termiczna, odpowiednia do stosowania w środowiskach o wysokiej temperaturze.
Wysoka odporność na szok termiczny.
Odporność chemiczna:
Silna odporność na korozję powodowaną przez kwasy, zasady i większość chemikaliów, szczególnie w BF33.
Właściwości optyczne:
Płytki JGS1 i JGS2 zapewniają wysoką przepuszczalność optyczną w zakresie ultrafioletu (UV), światła widzialnego i podczerwieni (IR).
Idealny do precyzyjnych elementów optycznych, fotoniki i zastosowań laserowych.
Jakość powierzchni:
Wysoka płaskość i gładkość powierzchni, zapewniająca precyzję w produkcji półprzewodników i urządzeń optycznych.
Te właściwości sprawiają, że płytki JGS1, JGS2 i BF33 są wszechstronne i niezawodne w zastosowaniach o wysokiej wydajności w różnych branżach, takich jak optyka, elektronika i półprzewodniki.
Ogólnie
Wafle ze szkła kwarcowego wykonane z JGS1, JGS2 i BF33 zapewniają wyjątkową wydajność w różnych wymagających zastosowaniach. Dostępne w standardowych rozmiarach 8 cali i 12 cali o grubości 725 ± 25 μm, płytki te można również dostosować do specyficznych wymagań. JGS1 i JGS2 zapewniają wysoką przepuszczalność optyczną w zakresie UV, widzialnym i IR, natomiast BF33 zapewnia doskonałą odporność chemiczną i stabilność termiczną. Dzięki wysokiej płaskości i gładkości powierzchni płytki te idealnie nadają się do zastosowań w gałęziach przemysłu precyzyjnego, takich jak półprzewodniki, optyka i fotonika, zapewniając niezawodność i trwałość w ekstremalnych warunkach i zastosowaniach krytycznych.