Płytka szklana kwarcowa JGS1 JGS2 BF33 Płytka 8 cali 12 cali 725 ± 25 um lub dostosowana
Specyfikacja
Spec | 4" | 6" | 8" | 10" | 12 cali |
Średnica | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
Grubość | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Mieszkanie główne | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Wycięcie | Karb | Karb | Karb |
LTV (5 mm x 5 mm) | < 0,5um | < 0,5um | < 0,5um | < 0,5um | < 0,5um |
TTV | < 2um | < 3um | <3um | <10um | <10um |
Ukłon | ±20um | ±30um | ±40um | ±40um | ±40um |
Osnowa | ≤ 30um | ≤ 40um | ≤ 70um | ≤ 80um | ≤ 80um |
Zaokrąglanie krawędzi | Zgodny ze standardem SEMI M1.2/patrz norma IEC62276 | ||||
Rodzaj powierzchni | Polerowane jednostronnie / Polerowane dwustronnie | ||||
Polerowana strona Ra | Ra≤1nm | ||||
Kryteria tylnej strony | Ra 0,2-0,7um lub dostosowane |
Tabela parametrów płytek kwarcowych JGS1 JGS2 BF33
Aplikacja
Płytki ze szkła kwarcowego wykonane z JGS1, JGS2 i BF33 są szeroko stosowane w różnych gałęziach przemysłu o wysokiej precyzji. Płytki te idealnie nadają się do produkcji półprzewodników, w tym podłoży fotomasek i elementów optycznych na poziomie płytek. Nadają się również do komponentów optycznych, laserów i czujników w takich branżach jak telekomunikacja, lotnictwo i urządzenia medyczne. Ich wysoka stabilność termiczna i odporność na szok termiczny sprawiają, że idealnie nadają się do stosowania w ekstremalnych temperaturach, a ich wyjątkowa przepuszczalność światła ma kluczowe znaczenie dla optyki ultrafioletowej (UV) i podczerwonej (IR).
Właściwości
Rodzaje materiałów:
JGS1: Wysoka przepuszczalność promieniowania ultrafioletowego, doskonała do zastosowań wykorzystujących promieniowanie ultrafioletowe.
JGS2: Zrównoważona transmisja w zakresie UV, widzialnym i podczerwonym, odpowiednia do ogólnych zastosowań optycznych.
BF33: Szkło borokrzemianowe o wysokiej odporności chemicznej i trwałości termicznej. Dostępne rozmiary:
Dostępne w standardowych rozmiarach płytek 8- i 12-calowych.
Istnieje możliwość produkcji rozmiarów niestandardowych, dostosowanych do konkretnych wymagań.Grubość:
Standardowa grubość wynosi 725 ± 25 μm.
Dostępna jest możliwość dostosowania grubości do różnych potrzeb przemysłowych.
Właściwości termiczne:
Doskonała stabilność termiczna, nadaje się do stosowania w środowiskach o wysokiej temperaturze.
Wysoka odporność na szok termiczny.
Odporność chemiczna:
Wysoka odporność na korozję wywoływaną przez kwasy, zasady i większość chemikaliów, szczególnie w przypadku BF33.
Właściwości optyczne:
Płytki JGS1 i JGS2 charakteryzują się wysoką przepuszczalnością optyczną w zakresie ultrafioletu (UV), widzialnego i podczerwieni (IR).
Doskonale nadaje się do precyzyjnych elementów optycznych, fotoniki i zastosowań laserowych.
Jakość powierzchni:
Wysoka płaskość i gładkość powierzchni zapewniają precyzję w produkcji półprzewodników i urządzeń optycznych.
Dzięki tym właściwościom płytki JGS1, JGS2 i BF33 są wszechstronne i niezawodne w zastosowaniach wymagających wysokiej wydajności w takich branżach, jak optyka, elektronika i półprzewodniki.
Ogólnie
Płytki kwarcowe wykonane z JGS1, JGS2 i BF33 oferują wyjątkową wydajność w wielu wymagających zastosowaniach. Dostępne w standardowych rozmiarach 8 i 12 cali o grubości 725 ± 25 μm, płytki te można również dostosować do specyficznych wymagań. JGS1 i JGS2 zapewniają wysoką transmisję optyczną w zakresie UV, widzialnym i IR, a BF33 charakteryzuje się doskonałą odpornością chemiczną i stabilnością termiczną. Dzięki wysokiej płaskości i gładkości powierzchni, płytki te idealnie nadają się do zastosowań precyzyjnych, takich jak półprzewodniki, optyka i fotonika, zapewniając niezawodność i trwałość w ekstremalnych warunkach i krytycznych zastosowaniach.
Szczegółowy diagram

