Premium Sapphire Lift Pins, pojedynczy kryształ Al₂O₃, pin podnoszący z wafla
Parametry techniczne
| Skład chemiczny | Al2O3 |
| Twardość | 9 w skali Mohsa |
| Natura optyczna | Jednoosiowy |
| Współczynnik załamania światła | 1,762-1,770 |
| Dwójłomność | 0,008-0,010 |
| Dyspersja | Niski, 0,018 |
| Połysk | Szklisty |
| Pleochroizm | Umiarkowany do silnego |
| Średnica | 0,4 mm-30 mm |
| Tolerancja średnicy | 0,004 mm-0,05 mm |
| długość | 2 mm-150 mm |
| tolerancja długości | 0,03 mm-0,25 mm |
| Jakość powierzchni | 40/20 |
| Okrągłość powierzchni | RZ0,05 |
| Niestandardowy kształt | oba końce płaskie, jeden koniec czerwony, oba końce czerwony, kołki siodłowe i kształty specjalne |
Główne cechy
1. Wyjątkowa twardość i odporność na zużycie: Dzięki twardości 9 w skali Mohsa, ustępując jedynie diamentowi, kołki podnoszące Sapphire Lift Pins charakteryzują się odpornością na zużycie, która znacznie przewyższa tradycyjne alternatywy z węglika krzemu, ceramiki tlenku glinu lub stopów metali. Ta wyjątkowa twardość przekłada się na znacznie mniejsze generowanie cząstek stałych i mniejsze wymagania konserwacyjne, a ich żywotność jest zazwyczaj 3-5 razy dłuższa niż w przypadku materiałów konwencjonalnych w porównywalnych zastosowaniach.
2. Doskonała odporność na wysokie temperatury: Zaprojektowane tak, aby wytrzymywać długotrwałą pracę w temperaturach przekraczających 1000°C bez degradacji, sworznie podnoszące Sapphire zachowują stabilność wymiarową i wytrzymałość mechaniczną w najbardziej wymagających procesach termicznych. To czyni je szczególnie cennymi w krytycznych zastosowaniach, takich jak chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD), chemiczne osadzanie z fazy gazowej związków metaloorganicznych (MOCVD) oraz systemy wyżarzania wysokotemperaturowego, gdzie niedopasowanie rozszerzalności cieplnej może negatywnie wpłynąć na wydajność procesu.
3. Obojętność chemiczna: Struktura monokrystalicznego szafiru charakteryzuje się wyjątkową odpornością na działanie kwasu HF, związków chemicznych na bazie chloru i innych agresywnych gazów procesowych powszechnie spotykanych w produkcji półprzewodników. Ta stabilność chemiczna zapewnia spójną pracę w środowisku plazmowym i zapobiega powstawaniu defektów powierzchniowych, które mogłyby prowadzić do zanieczyszczenia płytki półprzewodnikowej.
4. Niskie zanieczyszczenie cząsteczkowe: Wykonane z bezusterkowych, wysokiej czystości kryształów szafirowych (typowo >99,99%), te kołki podnoszące charakteryzują się minimalnym uwalnianiem cząsteczek, nawet po długotrwałym użytkowaniu. Ich nieporowata struktura powierzchni i polerowane wykończenie spełniają najbardziej rygorystyczne wymagania dotyczące pomieszczeń czystych, bezpośrednio przyczyniając się do poprawy wydajności procesów w produkcji zaawansowanych półprzewodników węzłowych.
Precyzyjna obróbka: Dzięki zastosowaniu zaawansowanych technik szlifowania diamentowego i obróbki laserowej, piny Sapphire Lift Pins mogą być produkowane z tolerancjami submikronowymi i wykończeniem powierzchni poniżej 0,05 μm Ra. Możliwe jest projektowanie niestandardowych geometrii, w tym profili stożkowych, specjalnych konfiguracji końcówek i zintegrowanych funkcji wyrównywania, aby sprostać specyficznym wyzwaniom związanym z obsługą płytek w urządzeniach produkcyjnych nowej generacji.
Główne zastosowania
1. Produkcja półprzewodników: Szafirowe piny podnoszące odgrywają kluczową rolę w zaawansowanych systemach obróbki płytek półprzewodnikowych, zapewniając niezawodne podparcie i precyzyjne pozycjonowanie podczas procesów fotolitografii, trawienia, osadzania i kontroli. Ich stabilność termiczna i chemiczna czyni je szczególnie cennymi w narzędziach litograficznych EUV i zaawansowanych zastosowaniach w pakowaniu, gdzie stabilność wymiarowa w skali nanometrycznej jest niezbędna.
2. Epitaksja LED (MOCVD): W systemach epitaksjalnego wzrostu półprzewodników z azotku galu (GaN) i pokrewnych półprzewodników złożonych, piny podnoszące szafirowe zapewniają stabilne podparcie płytki w temperaturach często przekraczających 1000°C. Ich dopasowane do podłoży szafirowych właściwości rozszerzalności cieplnej minimalizują wyginanie się płytki i powstawanie poślizgu podczas procesu epitaksjalnego wzrostu.
3. Przemysł fotowoltaiczny: Wysokowydajna produkcja ogniw słonecznych korzysta z unikalnych właściwości szafiru w procesach dyfuzji wysokotemperaturowej, spiekania i osadzania cienkich warstw. Odporność pinów na zużycie jest szczególnie cenna w środowiskach produkcji masowej, gdzie żywotność komponentów bezpośrednio wpływa na koszty produkcji.
4. Precyzyjne przetwarzanie optyczne i elektroniczne: Poza zastosowaniami w półprzewodnikach, piny podnoszące szafirowe znajdują zastosowanie w obróbce delikatnych elementów optycznych, układów MEMS i specjalistycznych podłoży, gdzie kluczowe znaczenie ma obróbka bez zanieczyszczeń i zapobieganie zarysowaniom. Ich właściwości izolacyjne sprawiają, że idealnie nadają się do zastosowań obejmujących urządzenia wrażliwe na wyładowania elektrostatyczne.
Usługi XKH w zakresie kołków podnoszących szafirowych
XKH zapewnia kompleksowe wsparcie techniczne i rozwiązania dostosowane do potrzeb klientów w zakresie sworzni podnoszących Sapphire:
1. Usługi rozwoju niestandardowego
· Wsparcie w zakresie dostosowywania wymiarów, geometrii i obróbki powierzchni
· Rekomendacje dotyczące doboru materiałów i optymalizacji parametrów technicznych
· Współpraca w projektowaniu produktów i weryfikacji symulacji
2. Możliwości precyzyjnej produkcji
· Obróbka o wysokiej precyzji z tolerancjami kontrolowanymi w zakresie ±1μm
· Specjalne zabiegi obejmujące polerowanie lustrzane i fazowanie krawędzi
· Opcjonalne rozwiązania modyfikacji powierzchni, takie jak powłoki antyadhezyjne
3. System zapewnienia jakości
· Ścisłe wdrażanie kontroli materiałów przychodzących i kontroli procesu
· Pełnowymiarowa inspekcja optyczna i analiza morfologii powierzchni
· Dostarczanie raportów z testów wydajności produktu
4. Usługi łańcucha dostaw
· Szybka dostawa produktów standardowych
· Dedykowane zarządzanie zapasami dla kluczowych kont
5. Wsparcie techniczne
· Doradztwo w zakresie rozwiązań aplikacyjnych
· Szybka reakcja posprzedażowa
Naszym celem jest dostarczanie wysokiej jakości produktów Sapphire Lift Pins oraz świadczenie profesjonalnych usług technicznych w celu spełnienia rygorystycznych wymagań branży półprzewodników, diod LED i innych zaawansowanych branż.
