Wzorzysty podłoże szafirowe PSS 2 -calowe 6 -calowe suche trawienie ICP można zastosować do wiórów LED
Charakterystyka podstawowa
1. Charakterystyka materiału: Materiał podłoża jest szafirem pojedynczym kryształowym (al₂o₃), o wysokiej twardości, wysokiej odporności cieplnej i stabilności chemicznej.
2. Struktura powierzchni: Powierzchnia powstaje przez fotolitografię i trawienie w okresowe struktury mikro-nano, takie jak stożki, piramidy lub macierze sześciokątne.
3. Wydajność optyczna: Dzięki konstrukcji wzorcowania powierzchni całkowite odbicie światła na interfejsie jest zmniejszone, a wydajność ekstrakcji światła jest poprawia.
4. Wydajność termiczna: Sapphire Substrate ma doskonałą przewodność cieplną, odpowiednią do zastosowań LED o dużej mocy.
5. Specyfikacje rozmiaru: Wspólne rozmiary to 2 cale (50,8 mm), 4 cale (100 mm) i 6 cali (150 mm).
Główne obszary zastosowania
1. Produkcja LED:
Ulepszona wydajność ekstrakcji światła: PSS zmniejsza utratę światła poprzez projektowanie wzornictwa, znacznie poprawiając jasność LED i wydajność świetlistą.
Ulepszona jakość wzrostu epitaksjalnego: wzorowana struktura zapewnia lepszą bazę wzrostu dla warstw epitaksjalnych GAN i poprawia wydajność LED.
2. Dioda laserowa (LD):
Lasery o dużej mocy: Wysoka przewodność cieplna i stabilność PSS nadają się do diod laserowych o dużej mocy, poprawiając wydajność i niezawodność rozpraszania ciepła.
Niski prąd progowy: zoptymalizuj wzrost epitaksjalny, zmniejsz prąd progowy diody laserowej i popraw wydajność.
3. Fotodetektor:
Wysoka wrażliwość: wysoka transmisja światła i niska gęstość defektów PSS poprawiają czułość i szybkość reakcji fotodetektora.
Szeroka odpowiedź widmowa: odpowiednia do wykrywania fotoelektrycznego w ultrafiolecie do widzialnego zakresu.
4. Power Electronics:
Opór wysokiego napięcia: Wysoka izolacja i stabilność termiczna Sapphire są odpowiednie dla urządzeń o wysokim napięciu.
Skuteczne rozpraszanie ciepła: Wysoka przewodność cieplna poprawia wydajność rozpraszania ciepła urządzeń energetycznych i przedłuża żywotność usług.
5. Urządzenia RF:
Wysoka częstotliwość: Niska strata dielektryczna i wysoka stabilność termiczna PSS są odpowiednie dla urządzeń RF o wysokiej częstotliwości.
Niski szum: wysoka płaskość i niska gęstość defektu zmniejsz szum urządzenia i poprawia jakość sygnału.
6. Biosensory:
Wykrywanie wysokiej czułości: Wysoka transmisja światła i stabilność chemiczna PSS nadają się do biosensorów o wysokiej czułości.
Biokompatybilność: Biokompatybilność Sapphire sprawia, że jest odpowiednia do zastosowań medycznych i biodetekcyjnych.
Wzorzyste podłoże szafirowe (PSS) z materiałem epitaksjalnym GAN:
Wzorzysty podłoże szafirowe (PSS) jest idealnym podłożem do wzrostu epitaksyjnego GAN (azotku galu). Stała kratowa szafiru jest zbliżona do GAN, co może zmniejszyć niedopasowania sieci i defekty wzrostu epitaksjalnego. Struktura mikro-nano powierzchni PSS nie tylko poprawia wydajność ekstrakcji światła, ale także poprawia jakość kryształów warstwy epitaksjalnej GAN, poprawiając w ten sposób wydajność i niezawodność diody LED.
Parametry techniczne
Przedmiot | Wzorzyste podłoże szafirowe (2 ~ 6 cali) | ||
Średnica | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
Grubość | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
Orientacja powierzchniowa | Płaszczyzna C (0001) poza kątem w kierunku osi M (10-10) 0,2 ± 0,1 ° | ||
Płaszczyzna c (0001) poza kątem w kierunku osi A (11-20) 0 ± 0,1 ° | |||
Pierwotna płaska orientacja | Płaszcz A (11-20) ± 1,0 ° | ||
Pierwotna płaska długość | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
Plane R. | 9-O'Clock | ||
Wykończenie powierzchni przedniej | Wzorzyste | ||
Wykończenie powierzchni tylnej | SSP: Fine-Ground, RA = 0,8-1,2um; DSP: Epipolised, Ra <0,3 nm | ||
Laser Mark | Tylna strona | ||
TTV | ≤8 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
UKŁON | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25 μm |
OSNOWA | ≤12 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
Wykluczenie krawędzi | ≤2 mm | ||
Specyfikacja wzorca | Struktura kształtu | Dome, stożka, piramida | |
Wzrost wzoru | 1,6 ~ 1,8 μm | ||
Średnica wzoru | 2,75 ~ 2,85 μm | ||
Przestrzeń wzoru | 0,1 ~ 0,3 μm |
XKH specjalizuje się w dostarczaniu wysokiej jakości, dostosowanych wzorzystego szafir (PSS) z wsparciem technicznym i usługami posprzedażnymi, aby pomóc klientom w osiągnięciu wydajnych innowacji w dziedzinie LED, wyświetlania i optoelektroniki.
1. Wysokiej jakości podaż PSS: wzorzyste podłoża szafirowe w różnych rozmiarach (2 ", 4", 6 "), aby zaspokoić potrzeby urządzeń LED, wyświetlania i optoelektronicznych.
2. Dostosowywany konstrukcja: Dostosuj powierzchnię mikro-nano strukturę (taką jak stożka, piramida lub macierz sześciokątne) według klientów potrzebnych do zoptymalizowania wydajności ekstrakcji światła.
3. Wsparcie techniczne: Zapewnij projektowanie aplikacji PSS, optymalizację procesów i konsultacje techniczne, aby pomóc klientom poprawić wydajność produktu.
4. Wsparcie wzrostu epitaksjalnego: PSS dopasowane do materiału epitaksjalnego GAN jest dostarczane w celu zapewnienia wysokiej jakości wzrostu warstwy epitaksjalnej.
5. Testowanie i certyfikat: Zapewnij raport kontroli jakości PSS, aby zapewnić, że produkty spełniają standardy branżowe.
Szczegółowy schemat


