Podłoże szafirowe PSS o wymiarach 2 cale, 4 cale i 6 cali. Suche trawienie ICP może być stosowane do układów LED
Charakterystyka podstawowa
1. Charakterystyka materiału: Materiał podłoża to monokrystaliczny szafir (Al₂O₃) o dużej twardości, wysokiej odporności cieplnej i stabilności chemicznej.
2. Struktura powierzchni: Powierzchnię formuje się metodą fotolitografii i trawienia, tworząc okresowe mikro-nanostruktury, takie jak stożki, piramidy lub układy heksagonalne.
3. Wydajność optyczna: Dzięki wzorcowaniu powierzchni całkowite odbicie światła na styku zostało zredukowane, a efektywność ekstrakcji światła została zwiększona.
4. Wydajność cieplna: Podłoże szafirowe charakteryzuje się doskonałą przewodnością cieplną, co czyni je odpowiednim do zastosowań w diodach LED dużej mocy.
5. Specyfikacja rozmiaru: Typowe rozmiary to 2 cale (50,8 mm), 4 cale (100 mm) i 6 cali (150 mm).
Główne obszary zastosowań
1. Produkcja diod LED:
Poprawiona wydajność ekstrakcji światła: PSS redukuje utratę światła dzięki wzorcowaniu, co znacznie zwiększa jasność diod LED i wydajność świetlną.
Lepsza jakość wzrostu epitaksjalnego: Wzorzysta struktura zapewnia lepszą bazę wzrostu dla warstw epitaksjalnych GaN i poprawia wydajność diod LED.
2. Dioda laserowa (LD):
Lasery dużej mocy: Wysoka przewodność cieplna i stabilność PSS nadają się do diod laserowych dużej mocy, poprawiając wydajność rozpraszania ciepła i niezawodność.
Niski próg prądu: optymalizacja wzrostu epitaksjalnego, zmniejszenie progu prądu diody laserowej i poprawa wydajności.
3. Fotodetektor:
Wysoka czułość: Wysoka transmisja światła i niska gęstość defektów PSS poprawiają czułość i szybkość reakcji fotodetektora.
Szeroki zakres odpowiedzi widmowej: nadaje się do detekcji fotoelektrycznej w zakresie od ultrafioletu do światła widzialnego.
4. Elektronika mocy:
Odporność na wysokie napięcie: Wysoka izolacyjność i stabilność termiczna szafiru sprawiają, że nadaje się on do urządzeń wysokonapięciowych.
Efektywne odprowadzanie ciepła: Wysoka przewodność cieplna poprawia wydajność odprowadzania ciepła przez urządzenia zasilające i wydłuża ich żywotność.
5. Urządzenia RF:
Wydajność w wysokiej częstotliwości: Niska strata dielektryczna i wysoka stabilność termiczna układów PSS nadają się do urządzeń RF o wysokiej częstotliwości.
Niski poziom szumów: Wysoka płaskość i niska gęstość defektów redukują szum urządzenia i poprawiają jakość sygnału.
6. Biosensory:
Wysoka czułość detekcji: Wysoka transmisja światła i stabilność chemiczna PSS nadają się do stosowania w biosensorach o wysokiej czułości.
Biokompatybilność: Biokompatybilność szafiru sprawia, że nadaje się on do zastosowań medycznych i biodetekcji.
Podłoże szafirowe wzorzyste (PSS) z materiałem epitaksjalnym GaN:
Podłoże szafirowe o wzorach (PSS) jest idealnym podłożem do epitaksjalnego wzrostu GaN (azotku galu). Stała sieciowa szafiru jest zbliżona do GaN, co może zmniejszyć niedopasowania sieciowe i defekty w epitaksjalnym wzroście. Mikro-nanostruktura powierzchni PSS nie tylko poprawia wydajność ekstrakcji światła, ale także poprawia jakość kryształu warstwy epitaksjalnej GaN, tym samym poprawiając wydajność i niezawodność diody LED.
Parametry techniczne
| Przedmiot | Podłoże szafirowe wzorzyste (2~6 cali) | ||
| Średnica | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Grubość | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Orientacja powierzchni | Płaszczyzna C (0001) pod kątem do osi M (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| Płaszczyzna C (0001) pod kątem do osi A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Podstawowa orientacja płaska | Płaszczyzna A (11-20) ± 1,0° | ||
| Długość płaska podstawowa | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| Płaszczyzna R | godzina 9 | ||
| Wykończenie powierzchni przedniej | Wzorzysty | ||
| Wykończenie powierzchni tylnej | SSP: drobno zmielony, Ra=0,8-1,2um; DSP: polerowany epitaksjalnie, Ra<0,3nm | ||
| Znakowanie laserowe | Tylna strona | ||
| Telewizja | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| UKŁON | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| OSNOWA | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Wykluczenie krawędzi | ≤2 mm | ||
| Specyfikacja wzoru | Struktura kształtu | Kopuła, Stożek, Piramida | |
| Wysokość wzoru | 1,6~1,8μm | ||
| Średnica wzoru | 2,75~2,85μm | ||
| Przestrzeń Wzorów | 0,1~0,3μm | ||
Firma XKH specjalizuje się w dostarczaniu wysokiej jakości, dostosowanych do potrzeb klientów wzorzystych podłoży szafirowych (PSS) wraz ze wsparciem technicznym i obsługą posprzedażową, aby pomóc klientom w osiąganiu efektywnych innowacji w dziedzinie diod LED, wyświetlaczy i optoelektroniki.
1. Wysokiej jakości zasilanie PSS: Wzorzyste podłoża szafirowe w różnych rozmiarach (2", 4", 6") spełniające potrzeby urządzeń LED, wyświetlaczy i optoelektronicznych.
2. Indywidualny projekt: Dostosuj mikro-nanostrukturę powierzchni (taką jak stożek, piramida lub układ sześciokątny) zgodnie z potrzebami klienta, aby zoptymalizować wydajność ekstrakcji światła.
3. Wsparcie techniczne: zapewniamy projektowanie aplikacji PSS, optymalizację procesów i konsultacje techniczne, aby pomóc klientom w poprawie wydajności produktu.
4. Wsparcie wzrostu epitaksjalnego: Zastosowano PSS dopasowane do materiału epitaksjalnego GaN, aby zagwarantować wysokiej jakości wzrost warstwy epitaksjalnej.
5. Testowanie i certyfikacja: Zapewnij raport z kontroli jakości PSS, aby zagwarantować, że produkty spełniają standardy branżowe.
Szczegółowy diagram
