Płytka SiC typu P 4H/6H-P 3C-N 6-calowa grubość 350 μm z pierwotną orientacją płaską
Specyfikacja Podłoża kompozytowe SiC typu 4H/6H-P Tabela wspólnych parametrów
6 Średnica calowa Podłoże z węglika krzemu (SiC). Specyfikacja
Stopień | Zerowa produkcja MPDStopień (Z Stopień) | Produkcja standardowaStopień (str Stopień) | Stopień fikcyjny (D Stopień) | ||
Średnica | 145,5 mm ~ 150,0 mm | ||||
Grubość | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientacja wafla | -Offoś: 2,0°-4,0° w kierunku [1120] ± 0,5° dla 4H/6H-P, na osi: 〈111〉± 0,5° dla 3C-N | ||||
Gęstość mikrorurki | 0 cm-2 | ||||
Oporność | typ p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
typ n 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Podstawowa orientacja płaska | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Podstawowa długość płaska | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Dodatkowa długość płaska | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientacja płaska wtórna | Silikon skierowany do góry: 90° CW. od Prime flat ± 5,0° | ||||
Wykluczenie krawędzi | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/łuk/osnowa | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Chropowatość | Polski Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Krawędzie pękają pod wpływem światła o dużej intensywności | Nic | Długość skumulowana ≤ 10 mm, długość pojedyncza ≤2 mm | |||
Płytki sześciokątne światłem o wysokiej intensywności | Powierzchnia skumulowana ≤0,05% | Powierzchnia skumulowana ≤0,1% | |||
Obszary wielotypowe przy świetle o dużej intensywności | Nic | Powierzchnia skumulowana ≤3% | |||
Wizualne wtrącenia węgla | Powierzchnia skumulowana ≤0,05% | Powierzchnia skumulowana ≤3% | |||
Zarysowania powierzchni krzemu pod wpływem światła o dużej intensywności | Nic | Długość skumulowana ≤1 × średnica płytki | |||
Wióry krawędziowe wysokie pod wpływem intensywnego światła | Żadne nie jest dozwolone. Szerokość i głębokość ≥0,2 mm | Dopuszczalne 5, ≤1 mm każdy | |||
Zanieczyszczenie powierzchni krzemu o dużej intensywności | Nic | ||||
Opakowanie | Kaseta z wieloma waflami lub pojedynczy pojemnik na wafle |
Uwagi:
※ Limity defektów dotyczą całej powierzchni płytki z wyjątkiem obszaru wykluczenia krawędzi. # Należy sprawdzić zarysowania na powierzchni Si
Płytka SiC typu P, 4H/6H-P 3C-N, o rozmiarze 6 cali i grubości 350 μm, odgrywa kluczową rolę w przemysłowej produkcji wysokowydajnej elektroniki mocy. Doskonała przewodność cieplna i wysokie napięcie przebicia sprawiają, że idealnie nadaje się do produkcji komponentów, takich jak przełączniki mocy, diody i tranzystory stosowane w środowiskach o wysokiej temperaturze, takich jak pojazdy elektryczne, sieci energetyczne i systemy energii odnawialnej. Zdolność płytki do wydajnej pracy w trudnych warunkach zapewnia niezawodne działanie w zastosowaniach przemysłowych wymagających dużej gęstości mocy i efektywności energetycznej. Ponadto jego główna, płaska orientacja pomaga w precyzyjnym wyrównaniu podczas wytwarzania urządzenia, zwiększając wydajność produkcji i spójność produktu.
Zalety podłoży kompozytowych SiC typu N obejmują
- Wysoka przewodność cieplna: Płytki SiC typu P skutecznie rozpraszają ciepło, dzięki czemu idealnie nadają się do zastosowań wysokotemperaturowych.
- Wysokie napięcie przebicia: Odporne na wysokie napięcia, zapewniające niezawodność energoelektroniki i urządzeń wysokiego napięcia.
- Odporność na trudne warunki: Doskonała trwałość w ekstremalnych warunkach, takich jak wysokie temperatury i środowiska korozyjne.
- Efektywna konwersja mocy: Domieszkowanie typu P ułatwia efektywne przenoszenie mocy, dzięki czemu płytka nadaje się do systemów konwersji energii.
- Podstawowa orientacja płaska: Zapewnia precyzyjne ustawienie podczas produkcji, poprawiając dokładność i spójność urządzenia.
- Cienka struktura (350 μm): Optymalna grubość płytki umożliwia integrację z zaawansowanymi urządzeniami elektronicznymi o ograniczonej przestrzeni.
Ogólnie rzecz biorąc, płytka SiC typu P, 4H/6H-P 3C-N, oferuje szereg zalet, które sprawiają, że doskonale nadaje się do zastosowań przemysłowych i elektronicznych. Wysoka przewodność cieplna i napięcie przebicia umożliwiają niezawodną pracę w środowiskach o wysokiej temperaturze i wysokim napięciu, a odporność na trudne warunki zapewnia trwałość. Domieszkowanie typu P pozwala na wydajną konwersję mocy, dzięki czemu idealnie nadaje się do energoelektroniki i systemów energetycznych. Dodatkowo, główna płaska orientacja płytki zapewnia precyzyjne wyrównanie podczas procesu produkcyjnego, zwiększając spójność produkcji. Dzięki grubości 350 μm doskonale nadaje się do integracji z zaawansowanymi, kompaktowymi urządzeniami.