Wafer SiC typu P 4H/6H-P 3C-N grubość 6 cali 350 μm z orientacją podstawową płaską
Specyfikacja4H/6H-P Typ SiC Podłoża kompozytowe Tabela wspólnych parametrów
6 Podłoże z węglika krzemu (SiC) o średnicy cala Specyfikacja
Stopień | Produkcja zerowego MPDOcena (Z) Stopień) | Standardowa produkcjaOcena (P Stopień) | Stopień manekina (D Stopień) | ||
Średnica | 145,5 mm~150,0 mm | ||||
Grubość | 350 mikrometrów ± 25 mikrometrów | ||||
Orientacja wafli | -Offoś: 2,0°-4,0°w kierunku [1120] ± 0,5° dla 4H/6H-P, Na osi:〈111〉± 0,5° dla 3C-N | ||||
Gęstość mikrorury | 0cm-2 | ||||
Oporność | typ p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
typ n 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Podstawowa orientacja płaska | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Długość płaska podstawowa | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Długość wtórna płaska | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Druga orientacja płaska | Silikon wierzchni do góry: 90° CW. od podłoża płaskiego ± 5,0° | ||||
Wykluczenie krawędzi | 3mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Łuk/Osnowa | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Chropowatość | Polski Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Pęknięcia krawędzi spowodowane intensywnym światłem | Nic | Długość skumulowana ≤ 10 mm, długość pojedyncza ≤ 2 mm | |||
Płytki sześciokątne z oświetleniem o wysokiej intensywności | Powierzchnia skumulowana ≤0,05% | Powierzchnia skumulowana ≤0,1% | |||
Obszary politypu za pomocą światła o wysokiej intensywności | Nic | Łączna powierzchnia ≤3% | |||
Widoczne wtrącenia węglowe | Powierzchnia skumulowana ≤0,05% | Łączna powierzchnia ≤3% | |||
Zarysowania powierzchni krzemu spowodowane światłem o dużej intensywności | Nic | Całkowita długość ≤1לrednica wafla | |||
Chipsy krawędziowe o wysokiej intensywności światła | Niedozwolone Szerokość i głębokość ≥0,2 mm | Dozwolone 5 sztuk, ≤1 mm każda | |||
Zanieczyszczenie powierzchni krzemu przez wysoką intensywność | Nic | ||||
Opakowanie | Kaseta na wiele wafli lub pojemnik na pojedyncze wafle |
Uwagi:
※ Limity wad dotyczą całej powierzchni płytki, z wyjątkiem obszaru wykluczenia krawędzi. # Zadrapania należy sprawdzać na powierzchni Si.
Płytka SiC typu P, 4H/6H-P 3C-N, o rozmiarze 6 cali i grubości 350 μm odgrywa kluczową rolę w przemysłowej produkcji wysokowydajnej elektroniki mocy. Jej doskonała przewodność cieplna i wysokie napięcie przebicia sprawiają, że idealnie nadaje się do produkcji komponentów, takich jak przełączniki mocy, diody i tranzystory stosowane w środowiskach o wysokiej temperaturze, takich jak pojazdy elektryczne, sieci energetyczne i systemy energii odnawialnej. Zdolność płytki do wydajnej pracy w trudnych warunkach zapewnia niezawodną wydajność w zastosowaniach przemysłowych wymagających dużej gęstości mocy i efektywności energetycznej. Ponadto jej podstawowa płaska orientacja pomaga w precyzyjnym wyrównaniu podczas produkcji urządzeń, zwiększając wydajność produkcji i spójność produktu.
Zalety podłoży kompozytowych SiC typu N obejmują:
- Wysoka przewodność cieplna:Wafle SiC typu P skutecznie odprowadzają ciepło, co czyni je idealnymi do zastosowań w wysokich temperaturach.
- Wysokie napięcie przebicia:Wytrzymują wysokie napięcia, zapewniając niezawodność w elektronice energetycznej i urządzeniach wysokonapięciowych.
- Odporność na trudne warunki środowiskowe:Doskonała trwałość w ekstremalnych warunkach, takich jak wysokie temperatury i środowiska korozyjne.
- Efektywna konwersja mocyDomieszkowanie typu P ułatwia efektywne przetwarzanie mocy, dzięki czemu wafel nadaje się do systemów przetwarzania energii.
- Podstawowa orientacja płaska: Zapewnia precyzyjne ustawienie w trakcie produkcji, zwiększając dokładność i spójność urządzenia.
- Cienka struktura (350 μm):Optymalna grubość płytki ułatwia integrację z zaawansowanymi urządzeniami elektronicznymi o ograniczonej przestrzeni.
Ogólnie rzecz biorąc, wafel SiC typu P, 4H/6H-P 3C-N, oferuje szereg zalet, które czynią go wysoce odpowiednim do zastosowań przemysłowych i elektronicznych. Jego wysoka przewodność cieplna i napięcie przebicia umożliwiają niezawodną pracę w środowiskach o wysokiej temperaturze i wysokim napięciu, podczas gdy jego odporność na trudne warunki zapewnia trwałość. Domieszkowanie typu P umożliwia wydajną konwersję mocy, dzięki czemu jest idealny do elektroniki mocy i systemów energetycznych. Ponadto podstawowa płaska orientacja wafla zapewnia precyzyjne wyrównanie w trakcie procesu produkcyjnego, zwiększając spójność produkcji. Dzięki grubości 350 μm jest on dobrze przystosowany do integracji z zaawansowanymi, kompaktowymi urządzeniami.
Szczegółowy diagram

