Wysokowydajny efektor końcowy z ceramiki glinowej (ramię widełkowe) do automatyzacji półprzewodników i pomieszczeń czystych

Krótki opis:

Ceramiczny efektor końcowy z tlenku glinu, nazywany również ceramicznym ramieniem widełkowym lub ceramiczną ręką robota, to precyzyjny element manipulacyjny przeznaczony do zautomatyzowanych systemów w środowiskach półprzewodnikowych, fotowoltaicznych, wyświetlaczy panelowych i laboratoriach o wysokiej czystości. Został zaprojektowany z myślą o zapewnieniu wyjątkowej stabilności termicznej, sztywności mechanicznej i odporności chemicznej, oferując czysty, niezawodny i bezpieczny transport delikatnych materiałów, takich jak płytki krzemowe, podłoża szklane i mikrokomponenty elektroniczne.

Wyślij do nas e-mail

Cechy

Szczegółowy diagram

Wprowadzenie do produktu

Jako rodzaj robota, ten ceramiczny element stanowi końcowy interfejs między systemem automatyki a obrabianym przedmiotem. Odgrywa on kluczową rolę w precyzyjnym przenoszeniu, wyrównywaniu, załadunku/rozładunku i pozycjonowaniu w pomieszczeniach czystych i w środowiskach próżniowych.

ceramiczne-ramię-do-napędu-płytek-półprzewodników-G13

ceramiczne-ramię-do-napędu-płytek-półprzewodników-G10

ceramiczne-ramię-do-napędu-płytek-półprzewodników-G07

Przegląd materiałów – ceramika glinowa (Al₂O₃)

Ceramika glinowa to wysoce stabilny i chemicznie obojętny materiał ceramiczny, znany ze swoich doskonałych właściwości mechanicznych i elektrycznych. Wysoka czystość (≥ 99,5%) tlenku glinu zastosowana w tych efektorach końcowych zapewnia:

Wysoka twardość (Mohs 9):Tlenek glinu, zaraz po diamencie, zapewnia ekstremalną odporność na zużycie.
Możliwość pracy w wysokich temperaturach: Zachowuje integralność strukturalną w temperaturze powyżej 1600°C.
Obojętność chemiczna:Odporny na działanie kwasów, zasad, rozpuszczalników i środowisk trawionych plazmą.
Izolacja elektryczna:Z wysoką wytrzymałością dielektryczną i niskimi stratami dielektrycznymi.
Niska rozszerzalność cieplna:Zapewnia stabilność wymiarową w środowiskach cykli termicznych.
Niska generacja cząstek:Niezbędne do zapewnienia zgodności z pomieszczeniami czystymi (klasa 10 do klasy 1000).

Dzięki tym cechom ceramika glinowa idealnie nadaje się do zastosowań o znaczeniu krytycznym w branżach narażonych na zanieczyszczenia.

Aplikacje funkcjonalne

Ceramiczny efektor końcowy z tlenku glinu jest powszechnie stosowany w zaawansowanych technologicznie procesach przemysłowych, szczególnie tam, gdzie tradycyjne materiały metalowe lub plastikowe nie sprawdzają się z powodu rozszerzalności cieplnej, zanieczyszczeń lub korozji. Kluczowe obszary zastosowań obejmują:

Transfer płytek półprzewodnikowych
Systemy załadunku i rozładunku fotolitografii
Obsługa podłoża szklanego w liniach OLED i LCD
Transfer płytek krzemowych krystalicznych w produkcji ogniw słonecznych
Automatyczna inspekcja optyczna lub mikroelektroniczna
Transport próbek w laboratoriach analitycznych lub biomedycznych
Systemy automatyzacji środowiska próżniowego

Jego zdolność do pracy bez wprowadzania cząsteczek lub ładunków statycznych sprawia, że jest on niezbędny do precyzyjnych operacji robotycznych w automatyzacji pomieszczeń czystych.

Cechy konstrukcyjne i personalizacja

Każdy ceramiczny efektor końcowy jest zaprojektowany tak, aby pasował do konkretnego ramienia robota lub systemu obsługi płytek. Oferujemy pełną personalizację w oparciu o:

Zgodność rozmiarów wafli: 2", 4", 6", 8", 12" i więcej
Geometria i odstępy między rowkami:Dostosowany do uchwytu krawędziowego, podparcia tylnej strony lub karbowanych wzorów płytek
Porty ssące:Zintegrowane otwory lub kanały próżniowe do obsługi bezkontaktowej
Konfiguracja montażu:Otwory, gwinty, szczeliny dopasowane do kołnierza narzędzia końcowego robota
Obróbka powierzchni:Polerowane, docierane lub drobno szlifowane (dostępne wykończenie Ra < 0,2 µm)
Ochrona krawędzi: Zaokrąglone rogi lub fazowanie w celu uniknięcia uszkodzenia płytki

Korzystając z rysunków CAD i modeli 3D dostarczonych przez klientów, nasi inżynierowie mogą zoptymalizować każde ramię wideł pod kątem wagi, wytrzymałości i czystości.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Zalety ceramicznych efektorów końcowych

Funkcja	Korzyść
Wysoka sztywność mechaniczna	Zachowuje precyzję wymiarową pod wpływem sił obciążenia robota
Doskonała wydajność termiczna	Niezawodna praca w środowiskach o wysokiej temperaturze lub plazmie
Zero zanieczyszczeń metalami	Brak ryzyka skażenia jonowego w krytycznym procesie przetwarzania półprzewodników
Powierzchnia o niskim współczynniku tarcia	Zmniejsza ryzyko zarysowania podłoży wafli lub szkła
Antystatyczne i niemagnetyczne	Nie przyciąga kurzu i nie wpływa na elementy wrażliwe na pole magnetyczne
Długa żywotność	Wyższa odporność na zużycie w powtarzalnych cyklach automatyzacji o dużej prędkości
Ultra-czysta kompatybilność	Nadaje się do pomieszczeń czystych zgodnych z normą ISO 14644 (klasa 100 i niższa)

W porównaniu z ramionami z tworzywa sztucznego lub aluminium, ceramika glinowa charakteryzuje się znacznie lepszą stabilnością chemiczną i fizyczną, przy minimalnych wymaganiach konserwacyjnych.

Nieruchomość	Metalowe ramię	Plastikowe ramię	Ramię ceramiczne z tlenku glinu
Twardość	Umiarkowany	Niski	Bardzo wysoka (9 w skali Mohsa)
Stabilność termiczna	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Odporność chemiczna	Umiarkowany	Słaby	Doskonały
Przydatność do pomieszczeń czystych	Średni	Niski	Bardzo wysoki
Odporność na zużycie	Średni	Niski	Wybitny
Wytrzymałość dielektryczna	Niski	Średni	Wysoki
Precyzja obróbki niestandardowej	Ograniczony	Umiarkowany	Wysoka (możliwa ±0,01 mm)

Dane techniczne

Parametr	Wartość
Tworzywo	Tlenek glinu o wysokiej czystości (≥ 99,5%)
Temperatura pracy	Do 1600°C
Chropowatość powierzchni	Ra ≤ 0,2 µm (opcjonalnie)
Kompatybilne rozmiary płytek	od 2" do 12" lub niestandardowe
Tolerancja płaskości	±0,01 mm (w zależności od zastosowania)
Wsparcie ssania próżniowego	Opcjonalne, konfigurowalne kanały
Opcje montażu	Przelotowe, kołnierzowe, otwory szczelinowe

Często zadawane pytania (FAQ)

P1: Czy efektor końcowy można zintegrować z istniejącymi systemami robotycznymi?
A1:Tak. Obsługujemy personalizację w oparciu o interfejs robota. Możesz przesłać nam rysunek CAD lub wymiary kołnierza, aby umożliwić precyzyjne dopasowanie.

P2: Czy ceramiczne ramiona łatwo pękną w trakcie użytkowania?
A2:Chociaż ceramika jest z natury krucha, nasze projekty wykorzystują zoptymalizowaną geometrię, aby zminimalizować koncentrację naprężeń. W prawidłowych warunkach użytkowania zapewniają one znacznie dłuższą żywotność niż metal czy plastik.

P3: Czy można używać tego w komorach do trawienia w warunkach ultrawysokiej próżni lub plazmowego?
A3:Tak. Ceramika glinowa nie wydziela gazów, jest stabilna termicznie i odporna na korozję — doskonale nadaje się do stosowania w środowiskach o wysokiej próżni, gazów reaktywnych lub plazmy.

P4: Jak czyścić i konserwować te elementy?
A4:Można je czyścić wodą dejonizowaną, alkoholem lub detergentami odpowiednimi do pomieszczeń czystych. Ze względu na stabilność chemiczną i obojętną powierzchnię nie wymagają specjalnej konserwacji.

O nas

Firma XKH specjalizuje się w rozwoju, produkcji i sprzedaży zaawansowanych technologicznie specjalistycznych szkieł optycznych i nowych materiałów kryształowych. Nasze produkty znajdują zastosowanie w elektronice optycznej, elektronice użytkowej oraz w wojsku. Oferujemy szafirowe komponenty optyczne, obudowy soczewek do telefonów komórkowych, ceramikę, płytki LT, węglik krzemu SIC, kwarc oraz kryształy półprzewodnikowe. Dzięki specjalistycznej wiedzy i najnowocześniejszemu sprzętowi, specjalizujemy się w przetwarzaniu produktów niestandardowych, dążąc do bycia wiodącym przedsiębiorstwem high-tech w branży materiałów optoelektronicznych.