Dia300x1,0mmt Grubość Szafirowa płytka C-Plane SSP/DSP
Przedstawiamy pudełko waflowe
Materiały kryształowe | 99,999% Al2O3, wysoka czystość, monokrystaliczny, Al2O3 | |||
Jakość kryształu | Wtrącenia, znaki blokowe, bliźniaki, kolor, mikropęcherzyki i centra dyspersyjne nie istnieją | |||
Średnica | 2 cale | 3 cale | 4 cale | 6 cali ~ 12 cali |
50,8 ± 0,1 mm | 76,2 ± 0,2 mm | 100 ± 0,3 mm | Zgodnie z przepisami produkcji standardowej | |
Grubość | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Możliwość dostosowania przez klienta |
Orientacja | Płaszczyzna C (0001) do płaszczyzny M (1-100) lub płaszczyzna A (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, płaszczyzna R (1-1 0 2), płaszczyzna A (1 1-2 0 ), płaszczyzna M (1-1 0 0), dowolna orientacja, dowolny kąt | |||
Podstawowa długość płaska | 16,0 ± 1 mm | 22,0 ± 1,0 mm | 32,5 ± 1,5 mm | Zgodnie z przepisami produkcji standardowej |
Podstawowa orientacja płaska | Płaszczyzna A (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
UKŁON | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Osnowa | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Powierzchnia przednia | Epi-polerowany (Ra < 0,2 nm) |
*Łuk: Odchylenie środka powierzchni środkowej swobodnej, niezaciśniętej płytki od płaszczyzny odniesienia, gdzie płaszczyznę odniesienia wyznaczają trzy narożniki trójkąta równobocznego.
*Wypaczenie: różnica pomiędzy maksymalną i minimalną odległością środkowej powierzchni swobodnej, niezaciśniętej płytki od określonej powyżej płaszczyzny odniesienia.
Wysokiej jakości produkty i usługi w zakresie urządzeń półprzewodnikowych nowej generacji i wzrostu epitaksjalnego:
Wysoki stopień płaskości (kontrolowany TTV, łuk, osnowa itp.)
Wysoka jakość czyszczenia (niskie zanieczyszczenie cząsteczkami, niewielkie zanieczyszczenie metalami)
Wiercenie podłoża, rowkowanie, cięcie i polerowanie od tyłu
Załączenie danych takich jak czystość i kształt podłoża (opcjonalnie)
Jeśli potrzebujesz podłoży szafirowych, skontaktuj się z nami:
poczta:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Wrócimy do Ciebie jak najszybciej!