8-calowy wafer SiC klasy produkcyjnej, podłoże 4H-N SiC
Poniższa tabela przedstawia specyfikacje naszych 8-calowych płytek SiC:
| Specyfikacja 8-calowego procesora SiC DSP typu N | |||||
| Numer | Przedmiot | Jednostka | Produkcja | Badania | Atrapa |
| 1: parametry | |||||
| 1.1 | polityp | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | orientacja powierzchni | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Parametry elektryczne | |||||
| 2.1 | domieszka | -- | Azot typu n | Azot typu n | Azot typu n |
| 2.2 | oporność | om ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Parametr mechaniczny | |||||
| 3.1 | średnica | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | grubość | mikrometr | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Orientacja nacięcia | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Głębokość wcięcia | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3.5 | Wskaźnik LTV | mikrometr | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | Telewizja | mikrometr | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Ukłon | mikrometr | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Osnowa | mikrometr | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Struktura | |||||
| 4.1 | gęstość mikrorury | szt./cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | zawartość metalu | atomy/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | szt./cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | szt./cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | PRZETRZĄSAĆ | szt./cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5.Jakość frontu | |||||
| 5.1 | przód | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | wykończenie powierzchni | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | cząstka | każdy/wafel | ≤100 (rozmiar ≥0,3μm) | NA | NA |
| 5.4 | zadrapanie | każdy/wafel | ≤5, Długość całkowita ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Krawędź odpryski/wgniecenia/pęknięcia/plamy/zanieczyszczenia | -- | Nic | Nic | NA |
| 5.6 | Obszary politypowe | -- | Nic | Powierzchnia ≤10% | Powierzchnia ≤30% |
| 5.7 | oznaczenie z przodu | -- | Nic | Nic | Nic |
| 6:Jakość pleców | |||||
| 6.1 | wykończenie z tyłu | -- | MP z twarzą C | MP z twarzą C | MP z twarzą C |
| 6.2 | zadrapanie | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Krawędź wady tylnej odpryski/wgniecenia | -- | Nic | Nic | NA |
| 6.4 | Szorstkość pleców | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Oznaczenie z tyłu | -- | Karb | Karb | Karb |
| 7:krawędź | |||||
| 7.1 | krawędź | -- | Ścięcie | Ścięcie | Ścięcie |
| 8: Pakiet | |||||
| 8.1 | Opakowanie | -- | Epi-gotowy z próżnią Opakowanie | Epi-gotowy z próżnią Opakowanie | Epi-gotowy z próżnią Opakowanie |
| 8.2 | Opakowanie | -- | Wielopłatowiec opakowanie kasetowe | Wielopłatowiec opakowanie kasetowe | Wielopłatowiec opakowanie kasetowe |
Szczegółowy diagram
Napisz tutaj swoją wiadomość i wyślij ją do nas