8-calowy 200-milimetrowy 4H-N SiC Wafer przewodzący, klasa badawcza

Krótki opis:

Wraz z rozwojem rynków transportu, energii i przemysłu, popyt na niezawodną, ​​wydajną elektronikę mocy stale rośnie. Aby sprostać potrzebom w zakresie ulepszonej wydajności półprzewodników, producenci urządzeń szukają materiałów półprzewodnikowych o szerokiej przerwie energetycznej, takich jak nasze portfolio płytek węglika krzemu (SiC) 4H SiC Prime Grade typu 4H n.


Szczegóły produktu

Tagi produktów

Ze względu na swoje unikalne właściwości fizyczne i elektroniczne, półprzewodnikowy materiał waflowy SiC o średnicy 200 mm jest stosowany do tworzenia wysokowydajnych, wysokotemperaturowych, odpornych na promieniowanie i wysokoczęstotliwościowych urządzeń elektronicznych. Cena 8-calowego podłoża SiC stopniowo spada, ponieważ technologia staje się bardziej zaawansowana, a popyt rośnie. Ostatnie osiągnięcia technologiczne prowadzą do produkcji na skalę produkcyjną 200-milimetrowych wafli SiC. Główne zalety półprzewodnikowych materiałów waflowych SiC w porównaniu z waflami Si i GaAs: Siła pola elektrycznego 4H-SiC podczas przebicia lawinowego jest o rząd wielkości wyższa niż odpowiadające jej wartości dla Si i GaAs. Prowadzi to do znacznego zmniejszenia rezystywności w stanie włączonym Ron. Niska rezystywność w stanie włączonym, w połączeniu z wysoką gęstością prądu i przewodnością cieplną, pozwala na stosowanie bardzo małych układów scalonych do urządzeń mocy. Wysoka przewodność cieplna SiC zmniejsza rezystancję cieplną układu scalonego. Właściwości elektroniczne urządzeń na bazie płytek SiC są bardzo stabilne w czasie i stabilne pod względem temperatury, co zapewnia wysoką niezawodność produktów. Węglik krzemu jest niezwykle odporny na twarde promieniowanie, które nie pogarsza właściwości elektronicznych układu. Wysoka graniczna temperatura robocza kryształu (ponad 6000C) pozwala na tworzenie wysoce niezawodnych urządzeń do trudnych warunków pracy i specjalnych zastosowań. Obecnie możemy dostarczać małe partie płytek SiC o średnicy 200 mm w sposób ciągły i ciągły oraz mamy pewne zapasy w magazynie.

Specyfikacja

Numer Przedmiot Jednostka Produkcja Badania Atrapa
1. Parametry
1.1 polityp -- 4H 4H 4H
1.2 orientacja powierzchni ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Parametry elektryczne
2.1 domieszka -- Azot typu n Azot typu n Azot typu n
2.2 oporność om ·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Parametr mechaniczny
3.1 średnica mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 grubość mikrometr 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientacja nacięcia ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Głębokość wcięcia mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 Wskaźnik LTV mikrometr ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 Telewizja mikrometr ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Ukłon mikrometr -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Osnowa mikrometr ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Struktura
4.1 gęstość mikrorury szt./cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 zawartość metalu atomy/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD szt./cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD szt./cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 PRZETRZĄSAĆ szt./cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Jakość pozytywna
5.1 przód -- Si Si Si
5.2 wykończenie powierzchni -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
5.3 cząstka każdy/wafel ≤100 (rozmiar ≥0,3μm) NA NA
5.4 zadrapanie każdy/wafel ≤5, Długość całkowita ≤200 mm NA NA
5.5 Krawędź
odpryski/wgniecenia/pęknięcia/plamy/zanieczyszczenia
-- Nic Nic NA
5.6 Obszary politypowe -- Nic Powierzchnia ≤10% Powierzchnia ≤30%
5.7 oznaczenie z przodu -- Nic Nic Nic
6. Jakość pleców
6.1 wykończenie z tyłu -- MP z twarzą C MP z twarzą C MP z twarzą C
6.2 zadrapanie mm NA NA NA
6.3 Krawędź wady tylnej
odpryski/wgniecenia
-- Nic Nic NA
6.4 Szorstkość pleców nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Oznaczenie z tyłu -- Karb Karb Karb
7. Krawędź
7.1 krawędź -- Ścięcie Ścięcie Ścięcie
8. Opakowanie
8.1 Opakowanie -- Epi-gotowy z próżnią
Opakowanie
Epi-gotowy z próżnią
Opakowanie
Epi-gotowy z próżnią
Opakowanie
8.2 Opakowanie -- Wielopłatowiec
opakowanie kasetowe
Wielopłatowiec
opakowanie kasetowe
Wielopłatowiec
opakowanie kasetowe

Szczegółowy diagram

8 cali SiC03
8 cali SiC4
8 cali SiC5
8 cali SiC6

  • Poprzedni:
  • Następny:

  • Napisz tutaj swoją wiadomość i wyślij ją do nas