6-calowy wafel SiC Epitaxiy typu N/P można dostosować
Proces przygotowania płytek epitaksjalnych z węglika krzemu to metoda wykorzystująca technologię chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).Poniżej przedstawiono odpowiednie zasady techniczne i etapy procesu przygotowawczego:
Zasada techniczna:
Chemiczne osadzanie z fazy gazowej: Wykorzystując gaz surowcowy w fazie gazowej, w określonych warunkach reakcji, ulega on rozkładowi i osadzaniu na podłożu, tworząc pożądaną cienką warstwę.
Reakcja w fazie gazowej: W wyniku reakcji pirolizy lub krakowania różne gazy surowcowe w fazie gazowej ulegają chemicznej zmianie w komorze reakcyjnej.
Etapy procesu przygotowania:
Obróbka podłoża: Podłoże poddawane jest oczyszczaniu powierzchni i obróbce wstępnej w celu zapewnienia jakości i krystaliczności płytki epitaksjalnej.
Debugowanie komory reakcyjnej: dostosuj temperaturę, ciśnienie i natężenie przepływu w komorze reakcyjnej oraz inne parametry, aby zapewnić stabilność i kontrolę warunków reakcji.
Zaopatrzenie w surowiec: należy dostarczyć wymagane surowce gazowe do komory reakcyjnej, mieszając i kontrolując natężenie przepływu w razie potrzeby.
Proces reakcji: Podczas ogrzewania komory reakcyjnej gazowy surowiec ulega w komorze reakcji chemicznej, w wyniku której powstaje pożądany osad, czyli warstwa węglika krzemu.
Chłodzenie i rozładunek: Pod koniec reakcji temperaturę stopniowo obniża się w celu ochłodzenia i zestalenia osadów w komorze reakcyjnej.
Wyżarzanie epitaksjalne i obróbka końcowa: osadzona płytka epitaksjalna jest wyżarzana i poddawana obróbce końcowej w celu poprawy jej właściwości elektrycznych i optycznych.
Konkretne etapy i warunki procesu epitaksjalnego przygotowania płytek z węglika krzemu mogą się różnić w zależności od konkretnego sprzętu i wymagań.Powyższe stanowi jedynie ogólny przebieg procesu i zasadę. Konkretna operacja musi zostać dostosowana i zoptymalizowana w zależności od rzeczywistej sytuacji.
Szczegółowy schemat
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)