6-calowe płytki z węglika krzemu SiC o średnicy 150 mm typu 4H-N do badań produkcyjnych MOS lub SBD i klas obojętnych
Pola aplikacji
6-calowe podłoże monokrystaliczne z węglika krzemu odgrywa kluczową rolę w wielu gałęziach przemysłu. Po pierwsze, jest szeroko stosowany w przemyśle półprzewodników do produkcji urządzeń elektronicznych dużej mocy, takich jak tranzystory mocy, układy scalone i moduły mocy. Wysoka przewodność cieplna i odporność na wysoką temperaturę umożliwiają lepsze odprowadzanie ciepła, co skutkuje lepszą wydajnością i niezawodnością. Po drugie, płytki z węglika krzemu są niezbędne w dziedzinach badań nad rozwojem nowych materiałów i urządzeń. Dodatkowo płytka z węglika krzemu znajduje szerokie zastosowanie w optoelektronice, m.in. w produkcji diod LED i diod laserowych.
Specyfikacje produktu
6-calowe podłoże monokrystaliczne z węglika krzemu ma średnicę 6 cali (około 152,4 mm). Chropowatość powierzchni wynosi Ra < 0,5 nm, a grubość 600 ± 25 μm. Podłoże można dostosować pod kątem przewodności typu N lub P, w zależności od wymagań klienta. Ponadto wykazuje wyjątkową stabilność mechaniczną, wytrzymując ciśnienie i wibracje.
Średnica | 150 ± 2,0 mm (6 cali) | ||||
Grubość | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientacja | Na osi: <0001>±0,5° | Poza osią: 4,0° w kierunku 1120±0,5° | |||
Polityp | 4H | ||||
Rezystywność (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025 oma·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Podstawowa orientacja płaska | {10-10}±5,0° | ||||
Podstawowa długość płaska (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Krawędź | Ścięcie | ||||
TTV/łuk/osnowa (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
Przód AFM (powierzchnia Si) | Polski Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
LTV | ≤3μm (10mm*10mm) | ≤5μm (10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Skórka pomarańczowa/pestki/pęknięcia/zanieczyszczenia/plamy/prążki | Nic | Nic | Nic | ||
wcięcia | Nic | Nic | Nic |
6-calowe podłoże monokrystaliczne z węglika krzemu jest materiałem o wysokiej wydajności, szeroko stosowanym w przemyśle półprzewodników, badaniach i optoelektronice. Zapewnia doskonałą przewodność cieplną, stabilność mechaniczną i odporność na wysoką temperaturę, dzięki czemu nadaje się do wytwarzania urządzeń elektronicznych dużej mocy i badań nad nowymi materiałami. Oferujemy różne specyfikacje i opcje dostosowywania, aby sprostać różnorodnym wymaganiom klientów.Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej informacji na temat płytek z węglika krzemu!