6-calowe 150-milimetrowe płytki węglika krzemu SiC typu 4H-N do badań produkcyjnych MOS lub SBD i klasy pozornej
Pola zastosowań
6-calowy monokrystaliczny substrat z węglika krzemu odgrywa kluczową rolę w wielu gałęziach przemysłu. Po pierwsze, jest szeroko stosowany w przemyśle półprzewodnikowym do produkcji urządzeń elektronicznych dużej mocy, takich jak tranzystory mocy, układy scalone i moduły mocy. Jego wysoka przewodność cieplna i odporność na wysokie temperatury umożliwiają lepsze odprowadzanie ciepła, co przekłada się na lepszą wydajność i niezawodność. Po drugie, wafle z węglika krzemu są niezbędne w dziedzinach badań w celu opracowywania nowych materiałów i urządzeń. Ponadto wafle z węglika krzemu znajdują szerokie zastosowanie w dziedzinie optoelektroniki, w tym w produkcji diod LED i diod laserowych.
Specyfikacja produktu
6-calowy monokrystaliczny substrat z węglika krzemu ma średnicę 6 cali (około 152,4 mm). Chropowatość powierzchni wynosi Ra < 0,5 nm, a grubość 600 ± 25 μm. Substrat może być dostosowany do przewodności typu N lub P, w zależności od wymagań klienta. Ponadto wykazuje wyjątkową stabilność mechaniczną, wytrzymując ciśnienie i wibracje.
| Średnica | 150±2,0 mm (6 cali) | ||||
| Grubość | 350 μm±25 μm | ||||
| Orientacja | Na osi: <0001>±0,5° | Poza osią: 4,0° w kierunku 1120±0,5° | |||
| Polityp | 4H | ||||
| Rezystywność (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025 om·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Podstawowa orientacja płaska | {10-10}±5,0° | ||||
| Długość płaszczyzny pierwotnej (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
| Krawędź | Ścięcie | ||||
| TTV/Łuk/Osnowa (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| Przód AFM (Si-face) | Polski Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||||
| Wskaźnik LTV | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| Skórka pomarańczowa/pestki/pęknięcia/zanieczyszczenia/plamy/prążki | Nic | Nic | Nic | ||
| wcięcia | Nic | Nic | Nic | ||
6-calowy monokrystaliczny substrat z węglika krzemu to wysokowydajny materiał szeroko stosowany w przemyśle półprzewodnikowym, badawczym i optoelektronicznym. Oferuje doskonałą przewodność cieplną, stabilność mechaniczną i odporność na wysokie temperatury, dzięki czemu nadaje się do produkcji urządzeń elektronicznych dużej mocy i badań nad nowymi materiałami. Oferujemy różne specyfikacje i opcje dostosowywania, aby sprostać zróżnicowanym wymaganiom klientów.Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej szczegółów na temat płytek z węglika krzemu!
Szczegółowy diagram
