6-calowe 150-milimetrowe płytki węglika krzemu SiC typu 4H-N do badań produkcyjnych MOS lub SBD oraz do zastosowań pozornych
Pola zastosowań
6-calowe monokrystaliczne podłoże z węglika krzemu odgrywa kluczową rolę w wielu gałęziach przemysłu. Po pierwsze, jest szeroko stosowane w przemyśle półprzewodnikowym do produkcji urządzeń elektronicznych dużej mocy, takich jak tranzystory mocy, układy scalone i moduły mocy. Jego wysoka przewodność cieplna i odporność na wysokie temperatury umożliwiają lepsze odprowadzanie ciepła, co przekłada się na lepszą wydajność i niezawodność. Po drugie, wafle z węglika krzemu są niezbędne w badaniach naukowych, w celu rozwoju nowych materiałów i urządzeń. Ponadto, wafle z węglika krzemu znajdują szerokie zastosowanie w optoelektronice, w tym w produkcji diod LED i diod laserowych.
Specyfikacja produktu
6-calowe podłoże z monokrystalicznego węglika krzemu ma średnicę 6 cali (około 152,4 mm). Chropowatość powierzchni wynosi Ra < 0,5 nm, a grubość 600 ± 25 μm. Podłoże może być dostosowane do przewodności typu N lub P, w zależności od wymagań klienta. Ponadto charakteryzuje się wyjątkową stabilnością mechaniczną, wytrzymując ciśnienie i wibracje.
Średnica | 150±2,0 mm (6 cali) | ||||
Grubość | 350 μm±25 μm | ||||
Orientacja | Na osi: <0001>±0,5° | Poza osią: 4,0° w kierunku 1120±0,5° | |||
Polityp | 4H | ||||
Rezystywność (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025 om·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Podstawowa orientacja płaska | {10-10}±5,0° | ||||
Długość płaszczyzny pierwotnej (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Krawędź | Ścięcie | ||||
TTV/Łuk/Osnowa (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
Przód AFM (Si-face) | Polski Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
Wskaźnik LTV | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Skórka pomarańczowa/pestki/pęknięcia/zanieczyszczenia/plamy/prążki | Nic | Nic | Nic | ||
wcięcia | Nic | Nic | Nic |
6-calowe monokrystaliczne podłoże z węglika krzemu to wysokowydajny materiał, szeroko stosowany w przemyśle półprzewodnikowym, badawczym i optoelektronicznym. Oferuje doskonałą przewodność cieplną, stabilność mechaniczną i odporność na wysokie temperatury, dzięki czemu doskonale nadaje się do produkcji urządzeń elektronicznych dużej mocy oraz badań nad nowymi materiałami. Oferujemy różnorodne specyfikacje i opcje personalizacji, aby sprostać zróżnicowanym potrzebom klientów.Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej szczegółów na temat płytek z węglika krzemu!
Szczegółowy diagram

