150mm 6 cali 0,7mm 0,5mm Nośnik podłoża wafla szafirowego C-Plane SSP/DSP
Aplikacje
Zastosowania 6-calowych płytek szafirowych obejmują:
1. Produkcja diod LED: wafel szafirowy może być stosowany jako podłoże układów LED, a jego twardość i przewodność cieplna mogą poprawić stabilność i żywotność układów LED.
2. Produkcja laserowa: Płytkę szafirową można również stosować jako podłoże lasera, co pozwala na poprawę jego wydajności i wydłużenie jego żywotności.
3. Produkcja półprzewodników: Płytki szafirowe są szeroko stosowane w produkcji urządzeń elektronicznych i optoelektronicznych, w tym w syntezie optycznej, ogniwach słonecznych, urządzeniach elektronicznych o wysokiej częstotliwości itp.
4. Inne zastosowania: Płytki szafirowe można również stosować do produkcji ekranów dotykowych, urządzeń optycznych, cienkowarstwowych ogniw słonecznych i innych produktów high-tech.
Specyfikacja
Tworzywo | Wysokiej czystości monokrystaliczny Al2O3, płytka szafirowa. |
Wymiar | 150 mm +/- 0,05 mm, 6 cali |
Grubość | 1300 +/- 25um |
Orientacja | Płaszczyzna C (0001) poza płaszczyzną M (1-100) 0,2 +/- 0,05 stopnia |
Podstawowa orientacja płaska | Samolot +/- 1 stopień |
Długość płaska podstawowa | 47,5 mm +/- 1 mm |
Całkowita zmienność grubości (TTV) | <20um |
Ukłon | <25um |
Osnowa | <25um |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6,66 x 10-6 / °C równolegle do osi C, 5 x 10-6 / °C prostopadle do osi C |
Wytrzymałość dielektryczna | 4,8 x 105 V/cm |
Stała dielektryczna | 11,5 (1 MHz) wzdłuż osi C, 9,3 (1 MHz) prostopadle do osi C |
Tangens strat dielektrycznych (znany również jako współczynnik stratności) | mniej niż 1 x 10-4 |
Przewodność cieplna | 40 W/(mK) przy 20℃ |
Polerowanie | jednostronnie polerowane (SSP) lub dwustronnie polerowane (DSP) Ra < 0,5 nm (według AFM). Odwrotna strona płytki SSP została drobno zmielona do Ra = 0,8 - 1,2 um. |
Przepuszczalność | 88% +/-1% przy 460 nm |
Szczegółowy diagram

