150 mm 6 cali 0,7 mm 0,5 mm Szafirowy nośnik podłoża waflowego C-Plane SSP/DSP
Aplikacje
Zastosowania 6-calowych płytek szafirowych obejmują:
1. Produkcja diod LED: płytka szafirowa może być stosowana jako podłoże chipów LED, a jej twardość i przewodność cieplna mogą poprawić stabilność i żywotność chipów LED.
2. Produkcja lasera: Płytka szafirowa może być również stosowana jako podłoże lasera, aby poprawić wydajność lasera i przedłużyć jego żywotność.
3. Produkcja półprzewodników: Płytki szafirowe są szeroko stosowane w produkcji urządzeń elektronicznych i optoelektronicznych, w tym w syntezie optycznej, ogniwach słonecznych, urządzeniach elektronicznych wysokiej częstotliwości itp.
4. Inne zastosowania: Płytki szafirowe można również wykorzystać do produkcji ekranów dotykowych, urządzeń optycznych, cienkowarstwowych ogniw słonecznych i innych zaawansowanych technologicznie produktów.
Specyfikacja
Tworzywo | Wysokiej czystości monokryształ Al2O3, wafel szafirowy. |
Wymiar | 150 mm +/- 0,05 mm, 6 cali |
Grubość | 1300 +/- 25 um |
Orientacja | Płaszczyzna C (0001) poza płaszczyzną M (1-100) 0,2 +/- 0,05 stopnia |
Podstawowa orientacja płaska | Płaszczyzna +/- 1 stopień |
Podstawowa długość płaska | 47,5 mm +/- 1 mm |
Całkowita zmienność grubości (TTV) | <20 um |
Ukłon | <25 um |
Osnowa | <25 um |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6,66 x 10-6 /°C równolegle do osi C, 5 x 10-6 /°C prostopadle do osi C |
Wytrzymałość dielektryczna | 4,8 x 105 V/cm |
Stała dielektryczna | 11,5 (1 MHz) wzdłuż osi C, 9,3 (1 MHz) prostopadle do osi C |
Tangens straty dielektrycznej (inaczej współczynnik rozproszenia) | mniej niż 1 x 10-4 |
Przewodność cieplna | 40 W/(mK) przy 20℃ |
Polerowanie | polerowany jednostronnie (SSP) lub polerowany dwustronnie (DSP) Ra < 0,5 nm (według AFM). Odwrotna strona płytki SSP została drobno zmielona do Ra = 0,8 - 1,2 um. |
Przepuszczalność | 88% +/-1% przy 460 nm |