150 mm 6 cali 0,7 mm 0,5 mm Nośnik podłoża wafla szafirowego C-Plane SSP/DSP
Aplikacje
Zastosowania 6-calowych płytek szafirowych obejmują:
1. Produkcja diod LED: płytka szafirowa może być stosowana jako podłoże układów LED, a jej twardość i przewodność cieplna mogą poprawić stabilność i żywotność układów LED.
2. Produkcja laserowa: Płytkę szafirową można również stosować jako podłoże lasera, co pozwala na poprawę jego wydajności i wydłużenie żywotności.
3. Produkcja półprzewodników: Płytki szafirowe są szeroko stosowane w produkcji urządzeń elektronicznych i optoelektronicznych, w tym w syntezie optycznej, ogniwach słonecznych, urządzeniach elektronicznych o wysokiej częstotliwości itp.
4. Inne zastosowania: Płytkę szafirową można również wykorzystać do produkcji ekranów dotykowych, urządzeń optycznych, cienkowarstwowych ogniw słonecznych i innych produktów high-tech.
Specyfikacja
| Tworzywo | Wysokiej czystości monokrystaliczny Al2O3, płytka szafirowa. |
| Wymiar | 150 mm +/- 0,05 mm, 6 cali |
| Grubość | 1300 +/- 25 um |
| Orientacja | Płaszczyzna C (0001) poza płaszczyzną M (1-100) 0,2 +/- 0,05 stopnia |
| Podstawowa orientacja płaska | Płaszczyzna +/- 1 stopień |
| Długość podstawowa płaska | 47,5 mm +/- 1 mm |
| Całkowita zmienność grubości (TTV) | <20 um |
| Ukłon | <25 um |
| Osnowa | <25 um |
| Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6,66 x 10-6 / °C równolegle do osi C, 5 x 10-6 / °C prostopadle do osi C |
| Wytrzymałość dielektryczna | 4,8 x 105 V/cm |
| Stała dielektryczna | 11,5 (1 MHz) wzdłuż osi C, 9,3 (1 MHz) prostopadle do osi C |
| Tangens strat dielektrycznych (znany również jako współczynnik stratności) | mniej niż 1 x 10-4 |
| Przewodność cieplna | 40 W/(mK) przy 20℃ |
| Polerowanie | Polerowanie jednostronne (SSP) lub dwustronne (DSP) Ra < 0,5 nm (metodą AFM). Tylna strona płytki SSP została drobno zmielona do Ra = 0,8–1,2 um. |
| Przepuszczalność | 88% +/-1% przy 460 nm |
Szczegółowy diagram
