50,8 mm 2-calowy GaN na szafirowym waflu z warstwą Epi
Zastosowanie warstwy epitaksjalnej azotku galu GaN
Ze względu na parametry azotku galu, epitaksjalne układy scalone wykonane z azotku galu nadają się głównie do zastosowań o dużej mocy, wysokiej częstotliwości i niskim napięciu.
Odzwierciedla się to w:
1) Duża przerwa pasmowa: Duża przerwa pasmowa poprawia poziom napięcia urządzeń z azotku galu i może zapewniać większą moc wyjściową niż urządzenia z arsenku galu, co jest szczególnie przydatne w stacjach bazowych komunikacji 5G, radarach wojskowych i innych dziedzinach;
2) Wysoka wydajność konwersji: rezystancja przełączania urządzeń elektronicznych o dużej mocy wykonanych z azotku galu jest o 3 rzędy wielkości niższa niż w przypadku urządzeń krzemowych, co pozwala znacząco ograniczyć straty przełączania;
3) Wysoka przewodność cieplna: wysoka przewodność cieplna azotku galu sprawia, że ma on doskonałe właściwości odprowadzania ciepła, co czyni go odpowiednim do produkcji urządzeń dużej mocy, wysokiej temperatury i innych dziedzin;
4) Wytrzymałość pola elektrycznego przy przebiciu: Mimo że wytrzymałość pola elektrycznego przy przebiciu azotku galu jest zbliżona do wytrzymałości azotku krzemu, to ze względu na proces półprzewodnikowy, niedopasowanie sieci materiałowej i inne czynniki, tolerancja napięciowa urządzeń z azotku galu wynosi zwykle około 1000 V, a bezpieczne napięcie użytkowe wynosi zwykle poniżej 650 V.
| Przedmiot | GaN-TCU-C50 | GaN-TCN-C50 | GaN-TCP-C50 |
| Wymiary | 50,8 mm ± 0,1 mm | ||
| Grubość | 4,5±0,5um | 4,5±0,5um | |
| Orientacja | Płaszczyzna C (0001) ±0,5° | ||
| Typ przewodzenia | Typ N (niedomieszkowany) | Typ N (domieszkowany Si) | Typ P (domieszkowany magnezem) |
| Rezystywność (300K) | < 0,5 Q·cm | < 0,05 Q·cm | ~ 10 cm² |
| Koncentracja nośnika | < 5x1017cm-3 | > 1x1018cm-3 | > 6x1016cm-3 |
| Ruchliwość | ~ 300 cm2/Ws | ~ 200 cm2/Ws | ~ 10 cm2/Ws |
| Gęstość dyslokacji | Mniej niż 5x108cm-2(obliczone na podstawie FWHM XRD) | ||
| Struktura podłoża | GaN na szafirze (standard: SSP, opcja: DSP) | ||
| Powierzchnia użytkowa | > 90% | ||
| Pakiet | Pakowane w pomieszczeniu czystym klasy 100, w kasetach po 25 szt. lub w pojemnikach na pojedyncze płytki, w atmosferze azotu. | ||
* Możliwość dostosowania innej grubości
Szczegółowy diagram
