4-calowy 6-calowy monokrystaliczny wafer LNOI z niobianu litu
Proces przygotowania materiałów LNOI dzieli się głównie na następujące cztery etapy
(1) Jony He wstrzykiwano do materiału niobianu litu ciętego metodą X przy określonej energii i wprowadzano do warstwy defektowej na określonej głębokości pod warstwą powierzchniową niobianu litu;
(2) Materiał w postaci implantu jonowego z niobianem litu jest łączony z podłożem krzemowym za pomocą warstwy tlenku, tworząc strukturę wiążącą;
(3) Strukturę wiązania wyżarzono, aby defekty wprowadzone przez implantację jonów helu uległy ewolucji i agregacji, tworząc pęknięcia. Na koniec niobian litu został oddzielony wzdłuż warstwy defektów, tworząc resztkowe plasterki niobianu litu i wafle LNOI.
Zastosowania i zalety płytek LNOI
1. Folie piezoelektryczne z niobianu litu (LNOI) charakteryzują się wysokim współczynnikiem piezoelektrycznym i stałą dielektryczną, co pozwala na przekształcanie energii mechanicznej w energię elektryczną lub energii elektrycznej w energię mechaniczną. Dlatego są szeroko stosowane w dziedzinie czujników, takich jak czujniki ciśnienia, czujniki przyspieszenia, czujniki temperatury itp. Ponadto, folie piezoelektryczne z niobianu litu mogą być również stosowane w urządzeniach akustycznych i wibracyjnych, takich jak przetworniki piezoelektryczne i złożone filtry ceramiczne.
2. Stabilność powłoki piezoelektrycznej z niobianu litu to kolejna jej zaleta. Ze względu na stabilność struktury krystalicznej i obojętność chemiczną, powłoka piezoelektryczna z niobianu litu może pracować w wysokich temperaturach, wysokiej wilgotności, silnych kwasach, silnych zasadach i innych trudnych warunkach, zapewniając dobrą odporność na korozję i trwałość.
Folia piezoelektryczna z 3-niobianu litu to nowy materiał piezoelektryczny o doskonałych parametrach i stabilności, który ma szerokie perspektywy zastosowania. Dzięki ciągłemu rozwojowi nauki i technologii, folia piezoelektryczna z niobianu litu znajdzie zastosowanie w coraz większej liczbie miast, zapewniając ludziom większą wygodę i innowacyjność.
Szczegółowy diagram


