4-calowy 6-calowy monokrystaliczny wafel LNOI z niobianu litu
Proces przygotowania materiałów LNOI dzieli się głównie na cztery etapy
(1) Jony He wstrzyknięto do materiału niobianu litu ciętego w kształcie X przy określonej energii i wprowadzono do warstwy defektowej na pewnej głębokości poniżej warstwy powierzchniowej niobianu litu;
(2) Materiał niobianu litu z implantem jonowym jest związany z podłożem krzemowym warstwą tlenku, tworząc strukturę wiążącą;
(3) Struktura wiążąca została wyżarzona, aby defekty wprowadzone przez implantację jonów He ewoluowały i agregowały, tworząc pęknięcia. Na koniec niobian litu oddzielono wzdłuż warstwy defektowej, tworząc resztkowe plastry niobianu litu i płytki LNOI.
Zastosowania i zalety płytki LNOI
1 - Folie piezoelektryczne z niobianu litu (LNOI) mają wysoki współczynnik piezoelektryczny i stałą dielektryczną, które mogą przekształcać energię mechaniczną w energię elektryczną lub energię elektryczną w energię mechaniczną. Dlatego jest szeroko stosowany w dziedzinie czujników, takich jak czujniki ciśnienia, czujniki przyspieszenia, czujniki temperatury i tak dalej. Ponadto folię piezoelektryczną z niobianu litu można również stosować w urządzeniach akustycznych i urządzeniach wibracyjnych, takich jak piezoelektryczny ceramiczny przetwornik piezoelektryczny, piezoelektryczny filtr ceramiczny.
2-Stabilność folii piezoelektrycznej z niobianu litu jest również jedną z jej zalet. Ze względu na stabilność struktury krystalicznej i obojętność chemiczną, folia piezoelektryczna z niobianu litu może pracować w wysokiej temperaturze, wysokiej wilgotności, mocnym kwasie, mocnych zasadach i innych trudnych warunkach, z dobrą odpornością na korozję i trwałością.
Folia piezoelektryczna z niobianu 3-litowego to nowy materiał piezoelektryczny o doskonałej wydajności i stabilności oraz ma szerokie perspektywy zastosowania. Dzięki ciągłemu rozwojowi nauki i technologii folia piezoelektryczna z niobianu litu będzie stosowana w większej liczbie miast, zapewniając większą wygodę i innowacje w życiu ludzi