Badania nad produkcją płytek SiC 4H-N/6H-N, gatunek atrapy, podłoże z węglika krzemu o średnicy 150 mm
Specyfikacja podłoża z węglika krzemu (SiC) o średnicy 6 cali
Stopień | Zerowy MPD | Produkcja | Stopień badawczy | Stopień manekina |
Średnica | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
Grubość | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
Orientacja wafli | Na osi:<0001>±0,5° dla 4H-SI | |||
Mieszkanie podstawowe | {10-10}±5,0° | |||
Długość płaska podstawowa | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Wykluczenie krawędzi | 3mm | |||
TTV/Łuk/Osnowa | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Gęstość mikrorury | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Rezystywność 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Chropowatość | Polski Ra ≤1nm CMP Ra≤0,5nm | |||
#Pęknięcia spowodowane światłem o dużej intensywności | Nic | 1 dozwolone, ≤2mm | Łączna długość ≤10mm, pojedyncza długość ≤2mm | |
*Płytki sześciokątne przy użyciu światła o dużej intensywności | Łączna powierzchnia ≤1% | Powierzchnia skumulowana ≤ 2% | Powierzchnia skumulowana ≤ 5% | |
*Powierzchnie politypowe przy użyciu światła o dużej intensywności | Nic | Powierzchnia skumulowana ≤ 2% | Powierzchnia skumulowana ≤ 5% | |
* Zadrapania spowodowane intensywnym światłem | 3 zadrapania na 1 x łączną długość średnicy płytki | 5 zadrapań na 1 x łączną długość średnicy płytki | 5 zadrapań na 1 x łączną długość średnicy płytki | |
Odprysk na krawędzi | Nic | Dozwolone 3 sztuki, ≤0,5 mm każda | 5 dozwolonych, ≤1mm każdy | |
Zanieczyszczenie światłem o dużej intensywności | Nic
|
Sprzedaż i obsługa klienta
Zakupy materiałów
Dział zakupów materiałów jest odpowiedzialny za zebranie wszystkich surowców potrzebnych do wytworzenia produktu. Pełna identyfikowalność wszystkich produktów i materiałów, w tym analiza chemiczna i fizyczna, są zawsze dostępne.
Jakość
Podczas i po wytworzeniu lub obróbce Twoich produktów dział kontroli jakości dba o to, aby wszystkie materiały i tolerancje spełniały lub przewyższały Twoją specyfikację.
Praca
Jesteśmy dumni z posiadania personelu inżynierii sprzedaży z ponad 5-letnim doświadczeniem w branży półprzewodników. Są oni przeszkoleni, aby odpowiadać na pytania techniczne, a także dostarczać terminowe wyceny dla Twoich potrzeb.
Jesteśmy u Twojego boku w każdej chwili, gdy masz problem i rozwiążemy go w ciągu 10 godzin.
Szczegółowy diagram

