Produkcja płytek SiC 4H-N/6H-N, badania jakości podłoża z węglika krzemu o średnicy 150 mm
Specyfikacja podłoża z węglika krzemu (SiC) o średnicy 6 cali
| Stopień | Zero MPD | Produkcja | Stopień badawczy | Stopień manekina |
| Średnica | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
| Grubość | 4H-N | 350um±25um | ||
| 4H-SI | 500um±25um | |||
| Orientacja wafli | Na osi:<0001>±0,5° dla 4H-SI | |||
| Mieszkanie główne | {10-10}±5,0° | |||
| Długość płaska podstawowa | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
| Wykluczenie krawędzi | 3 mm | |||
| TTV/Łuk/Osnowa | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
| Gęstość mikrorury | ≤1 cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ≤50 cm-2 |
| Rezystywność 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
| ≥1E5Ω!cm | ||||
| Chropowatość | Polski Ra ≤1nm CMP Ra≤0,5nm | |||
| #Pęknięcia spowodowane światłem o dużej intensywności | Nic | 1 dozwolone, ≤2mm | Łączna długość ≤10 mm, pojedyncza długość ≤2 mm | |
| *Płytki sześciokątne za pomocą światła o dużej intensywności | Powierzchnia skumulowana ≤1% | Powierzchnia skumulowana ≤ 2% | Powierzchnia skumulowana ≤ 5% | |
| *Powierzchnie politypowe przy użyciu światła o dużej intensywności | Nic | Powierzchnia skumulowana ≤ 2% | Powierzchnia skumulowana ≤ 5% | |
| *&Zadrapania spowodowane intensywnym światłem | 3 rysy na 1 x łączną długość średnicy płytki | 5 zadrapań na 1 x łączną długość średnicy płytki | 5 zadrapań na 1 x łączną długość średnicy płytki | |
| Odprysk krawędzi | Nic | Dozwolone 3 sztuki, ≤0,5 mm każda | 5 dozwolonych, ≤1 mm każdy | |
| Zanieczyszczenie światłem o dużej intensywności | Nic
| |||
Sprzedaż i obsługa klienta
Zakup materiałów
Dział zakupów materiałów jest odpowiedzialny za zgromadzenie wszystkich surowców potrzebnych do wytworzenia produktu. Pełna identyfikowalność wszystkich produktów i materiałów, w tym analiza chemiczna i fizyczna, jest zawsze dostępna.
Jakość
W trakcie i po wytworzeniu lub obróbce Twoich produktów dział kontroli jakości dba o to, aby wszystkie materiały i tolerancje spełniały lub przewyższały Twoją specyfikację.
Praca
Jesteśmy dumni z naszego zespołu inżynierów sprzedaży z ponad 5-letnim doświadczeniem w branży półprzewodników. Nasi specjaliści są przeszkoleni w zakresie udzielania odpowiedzi na pytania techniczne oraz terminowego przygotowywania ofert dostosowanych do Państwa potrzeb.
Jesteśmy do Twojej dyspozycji w każdej chwili, gdy masz problem i rozwiążemy go w ciągu 10 godzin.



