Podłoże szafirowe o wzorzystym wykończeniu (PSS) o wymiarach 2, 4 lub 6 cali, na którym hodowany jest materiał GaN, można stosować do oświetlenia LED

Krótki opis:

Podłoże szafirowe z wzorem (PSS) to maska do suchego trawienia na podłożu szafirowym. Maska jest grawerowana wzorem za pomocą standardowej litografii, a następnie szafir jest trawiony technologią ICP. Maska jest usuwana, a na koniec nanoszony jest na nią materiał GaN, tak aby epitaksja podłużna materiału GaN stała się epitaksją poziomą. Proces ten obejmuje kilka etapów, takich jak nakładanie powłoki fotorezystu, naświetlanie schodkowe, wywoływanie wzoru naświetlania, suche trawienie ICP i czyszczenie.


Cechy

Główne cechy

1. Charakterystyka strukturalna:
Powierzchnia PSS ma uporządkowany wzór stożkowy lub trójkątny, którego kształt, rozmiar i rozmieszczenie można kontrolować, dostosowując parametry procesu trawienia.
Tego rodzaju struktury graficzne pomagają zmienić drogę rozchodzenia się światła i zmniejszyć całkowite odbicie światła, co przekłada się na większą efektywność ekstrakcji światła.

2. Charakterystyka materiału:
Jako materiał podłoża PSS wykorzystuje wysokiej jakości szafir, który charakteryzuje się dużą twardością, wysoką przewodnością cieplną, dobrą stabilnością chemiczną i przejrzystością optyczną.
Dzięki tym cechom soczewki PSS wytrzymują trudne warunki środowiskowe, takie jak wysokie temperatury i ciśnienia, zachowując jednocześnie doskonałe parametry optyczne.

3. Parametry optyczne:
Zmieniając wielokrotne rozpraszanie na styku GaN i podłoża szafirowego, PSS sprawia, że fotony, które zostały całkowicie odbite wewnątrz warstwy GaN, mają szansę uciec z podłoża szafirowego.
Funkcja ta znacznie zwiększa wydajność ekstrakcji światła przez diodę LED i zwiększa natężenie światła diody LED.

4. Charakterystyka procesu:
Proces produkcji PSS jest stosunkowo skomplikowany i obejmuje wiele etapów, takich jak litografia i trawienie, a ponadto wymaga precyzyjnego sprzętu i kontroli procesu.
Jednak dzięki ciągłemu rozwojowi technologii i obniżaniu kosztów proces produkcyjny PSS jest stopniowo optymalizowany i udoskonalany.

Główna zaleta

1. Poprawa wydajności ekstrakcji światła: PSS znacząco poprawia wydajność ekstrakcji światła LED poprzez zmianę ścieżki propagacji światła i zmniejszenie całkowitego odbicia.

2. Wydłużenie żywotności diod LED: PSS może zmniejszyć gęstość dyslokacji materiałów epitaksjalnych GaN, zmniejszając w ten sposób rekombinację nieradiacyjną i wsteczny prąd upływu w obszarze aktywnym, co wydłuża żywotność diod LED.

3. Poprawa jasności diod LED: Dzięki poprawie wydajności ekstrakcji światła i wydłużeniu żywotności diod LED, natężenie światła diod LED w PSS ulega znacznemu zwiększeniu.

4. Obniżenie kosztów produkcji: Chociaż proces produkcji PSS jest stosunkowo skomplikowany, może on znacząco poprawić wydajność świetlną i żywotność diod LED, co w pewnym stopniu obniża koszty produkcji i zwiększa konkurencyjność produktu.

Główne obszary zastosowań

1. Oświetlenie LED: PSS jako materiał podłoża dla układów LED może znacząco poprawić wydajność świetlną i żywotność diod LED.
W dziedzinie oświetlenia LED diody PSS są szeroko stosowane w różnych produktach oświetleniowych, takich jak lampy uliczne, lampki stołowe, światła samochodowe i tak dalej.

2. Urządzenia półprzewodnikowe: Oprócz oświetlenia LED, PSS można również wykorzystać do produkcji innych urządzeń półprzewodnikowych, takich jak detektory światła, lasery itp. Urządzenia te mają szeroki zakres zastosowań w komunikacji, medycynie, wojsku i innych dziedzinach.

3. Integracja optoelektroniczna: Właściwości optyczne i stabilność PSS sprawiają, że jest to jeden z idealnych materiałów w dziedzinie integracji optoelektronicznej. W integracji optoelektronicznej PSS można stosować do wytwarzania światłowodów, przełączników optycznych i innych komponentów umożliwiających transmisję i przetwarzanie sygnałów optycznych.

Parametry techniczne

Przedmiot Podłoże szafirowe wzorzyste (2~6 cali)
Średnica 50,8 ± 0,1 mm 100,0 ± 0,2 mm 150,0 ± 0,3 mm
Grubość 430 ± 25μm 650 ± 25μm 1000 ± 25μm
Orientacja powierzchni Płaszczyzna C (0001) odchylona od kąta w kierunku osi M (10-10) 0,2 ± 0,1°
Płaszczyzna C (0001) pod kątem do osi A (11-20) 0 ± 0,1°
Podstawowa orientacja płaska Płaszczyzna A (11-20) ± 1,0°
Długość płaska podstawowa 16,0 ± 1,0 mm 30,0 ± 1,0 mm 47,5 ± 2,0 mm
Płaszczyzna R Godzina 9
Wykończenie powierzchni przedniej Wzorzysty
Wykończenie powierzchni tylnej SSP: drobno zmielony, Ra=0,8-1,2 um; DSP: polerowany epitaksjalnie, Ra<0,3 nm
Znak laserowy Tylna strona
TTV ≤8μm ≤10μm ≤20μm
UKŁON ≤10μm ≤15μm ≤25μm
OSNOWA ≤12μm ≤20μm ≤30μm
Wykluczenie krawędzi ≤2 mm
Specyfikacja wzorca Struktura kształtu Kopuła, stożek, piramida
Wysokość wzoru 1,6~1,8μm
Średnica wzoru 2,75~2,85μm
Przestrzeń Wzorca 0,1~0,3μm

Firma XKH koncentruje się na rozwoju, produkcji i sprzedaży wzorzystego podłoża szafirowego (PSS) i jest zaangażowana w dostarczanie wysokiej jakości, wysokowydajnych produktów PSS klientom na całym świecie. XKH dysponuje zaawansowaną technologią produkcji i profesjonalnym zespołem technicznym, który może dostosować produkty PSS do różnych specyfikacji i struktur wzoru, zgodnie z potrzebami klienta. Jednocześnie XKH dba o jakość produktów i usług, zapewniając klientom pełen zakres wsparcia technicznego i rozwiązań. W dziedzinie PSS firma XKH zgromadziła bogate doświadczenie i atuty, a także z niecierpliwością oczekuje współpracy z globalnymi partnerami w celu wspólnego promowania innowacyjnego rozwoju oświetlenia LED, układów półprzewodnikowych i innych branż.

Szczegółowy diagram

Podłoże szafirowe wzorzyste (PSS) 6
Podłoże szafirowe wzorzyste (PSS) 5
Podłoże szafirowe wzorzyste (PSS) 4

  • Poprzedni:
  • Następny:

  • Napisz tutaj swoją wiadomość i wyślij ją do nas