156mm 159mm 6-calowy szafirowy wafel do nośnika C-Plane DSP TTV
Specyfikacja
Przedmiot | 6-calowe płytki typu C (0001) szafirowe | |
Materiały kryształowe | 99,999%, wysoka czystość, monokrystaliczny Al2O3 | |
Stopień | Prime, gotowy na Epi | |
Orientacja powierzchni | Płaszczyzna C (0001) | |
Kąt odchylenia płaszczyzny C w kierunku osi M 0,2 +/- 0,1° | ||
Średnica | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Grubość | 650 μm +/- 25 μm | |
Podstawowa orientacja płaska | Płaszczyzna C (00-01) +/- 0,2° | |
Polerowana jednostronnie | Powierzchnia przednia | Epipolerowany, Ra < 0,2 nm (przez AFM) |
(SSP) | Powierzchnia tylna | Drobno zmielony, Ra = 0,8 μm do 1,2 μm |
Dwustronnie polerowany | Powierzchnia przednia | Epipolerowany, Ra < 0,2 nm (przez AFM) |
(DSP) | Powierzchnia tylna | Epipolerowany, Ra < 0,2 nm (przez AFM) |
TTV | < 20 µm | |
UKŁON | < 20 µm | |
OSNOWA | < 20 µm | |
Czyszczenie / Pakowanie | Czyszczenie pomieszczeń czystych klasy 100 i pakowanie próżniowe, | |
25 sztuk w opakowaniu kasetowym lub jednoczęściowym. |
Metoda Kylopoulosa (metoda KY) jest obecnie stosowana przez wiele firm w Chinach do produkcji kryształów szafirowych do zastosowania w przemyśle elektronicznym i optycznym.
W procesie tym wysokiej czystości tlenek glinu topi się w tyglu w temperaturze powyżej 2100 stopni Celsjusza. Zwykle tygiel wykonany jest z wolframu lub molibdenu. Precyzyjnie zorientowany kryształ zaszczepiający jest zanurzony w stopionym tlenku glinu. Kryształ zaszczepiający jest powoli wyciągany do góry i może być jednocześnie obracany. Dzięki precyzyjnej kontroli gradientu temperatury, szybkości wyciągania i szybkości chłodzenia ze stopu można wytworzyć duży, monokryształowy, prawie cylindryczny wlewek.
Po wyhodowaniu wlewki szafiru monokrystalicznego wierci się je w cylindryczne pręty, które następnie przycina się do żądanej grubości okna i na koniec poleruje do pożądanego wykończenia powierzchni.