156 mm 159 mm 6-calowy wafel szafirowy do nośnika C-Plane DSP TTV

Krótki opis:

Płytki szafirowe Al2O3 o średnicy 156 mm/159 mm, 6″, dwustronnie polerowane (DSP), z TTV poniżej 3 mikronów, przeznaczone do płytek nośnych. Dodatkowe płytki 8″/6″/5″/2″/3″/4″/5″ dla osi C, A, R i M. Płytki szafirowe w płaszczyźnie C o średnicy do 6 cali (6″/6 cali), z powierzchnią jednostronnie polerowaną (SSP) lub dwustronnie polerowaną (DSP), o grubości 650 mikronów lub 1000 mikronów.

Wyślij do nas e-mail

Cechy

Specyfikacja

Przedmiot	6-calowe płytki szafirowe C-plane(0001)
Materiały kryształowe	99,999%, wysoka czystość, monokrystaliczny Al2O3
Stopień	Prime, gotowy na Epi
Orientacja powierzchni	Płaszczyzna C(0001)
	Płaszczyzna C odchylona od kąta w kierunku osi M 0,2 +/- 0,1°
Średnica	100,0 mm +/- 0,1 mm
Grubość	650 μm +/- 25 μm
Podstawowa orientacja płaska	Płaszczyzna C (00-01) +/- 0,2°
Jednostronnie polerowane	Powierzchnia przednia	Polerowane epitaksjalnie, Ra < 0,2 nm (metodą AFM)
(SSP)	Powierzchnia tylna	Drobno zmielony, Ra = 0,8 μm do 1,2 μm
Dwustronnie polerowane	Powierzchnia przednia	Polerowane epitaksjalnie, Ra < 0,2 nm (metodą AFM)
(DSP)	Powierzchnia tylna	Polerowane epitaksjalnie, Ra < 0,2 nm (metodą AFM)
TTV	< 20 μm
UKŁON	< 20 μm
OSNOWA	< 20 μm
Czyszczenie / Pakowanie	Czyszczenie pomieszczeń czystych klasy 100 i pakowanie próżniowe,
	25 sztuk w opakowaniu kasetowym lub pojedynczo.

Metodę Kylopoulosa (metodę KY) stosuje obecnie wiele firm w Chinach do produkcji kryształów szafirowych wykorzystywanych w przemyśle elektronicznym i optycznym.

W tym procesie tlenek glinu o wysokiej czystości jest topiony w tyglu w temperaturze powyżej 2100 stopni Celsjusza. Tygiel jest zazwyczaj wykonany z wolframu lub molibdenu. Precyzyjnie zorientowany kryształ zarodkowy jest zanurzany w roztopionym tlenku glinu. Kryształ zarodkowy jest powoli wyciągany ku górze i może być jednocześnie obracany. Dzięki precyzyjnej kontroli gradientu temperatury, szybkości wyciągania i szybkości chłodzenia, z roztopionego metalu można uzyskać duży, monokrystaliczny, niemal cylindryczny wlewek.

Po wytworzeniu monokrystalicznych sztabek szafiru, rozwierca się je w pręty cylindryczne, które następnie są cięte na żądaną grubość okna i na koniec polerowane w celu uzyskania pożądanego wykończenia powierzchni.