156mm 159mm 6-calowy wafel szafirowy do nośnika C-Plane DSP TTV
Specyfikacja
Przedmiot | 6-calowe płytki szafirowe C-plane(0001) | |
Materiały kryształowe | 99,999%, wysoka czystość, monokrystaliczny Al2O3 | |
Stopień | Prime, gotowy na Epi | |
Orientacja powierzchni | Płaszczyzna C(0001) | |
Płaszczyzna C odchylona od kąta w stosunku do osi M 0,2 +/- 0,1° | ||
Średnica | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Grubość | 650 mikrometrów +/- 25 mikrometrów | |
Podstawowa orientacja płaska | Płaszczyzna C (00-01) +/- 0,2° | |
Jednostronnie polerowane | Powierzchnia przednia | Polerowane epitaksjalnie, Ra < 0,2 nm (metodą AFM) |
(SSP) | Powierzchnia tylna | Drobno zmielony, Ra = 0,8 μm do 1,2 μm |
Dwustronnie polerowane | Powierzchnia przednia | Polerowane epitaksjalnie, Ra < 0,2 nm (metodą AFM) |
(DSP) | Powierzchnia tylna | Polerowane epitaksjalnie, Ra < 0,2 nm (metodą AFM) |
Telewizja | < 20 μm | |
UKŁON | < 20 μm | |
OSNOWA | < 20 μm | |
Czyszczenie / Pakowanie | Czyszczenie pomieszczeń czystych klasy 100 i pakowanie próżniowe, | |
25 sztuk w opakowaniu kasetowym lub pojedynczo. |
Metodę Kylopoulosa (metodę KY) wykorzystuje obecnie wiele firm w Chinach do produkcji kryształów szafirowych wykorzystywanych w przemyśle elektronicznym i optycznym.
W tym procesie tlenek glinu o wysokiej czystości jest topiony w tyglu w temperaturach powyżej 2100 stopni Celsjusza. Zazwyczaj tygiel jest wykonany z wolframu lub molibdenu. Dokładnie zorientowany kryształ zarodkowy jest zanurzany w stopionym tlenku glinu. Kryształ zarodkowy jest powoli wyciągany do góry i może być jednocześnie obracany. Poprzez precyzyjną kontrolę gradientu temperatury, szybkości wyciągania i szybkości chłodzenia, z roztopu można wyprodukować duży, monokrystaliczny, prawie cylindryczny wlewek.
Po wytworzeniu monokryształów szafiru, są one rozwiercane w celu uzyskania prętów cylindrycznych, które następnie są cięte na żądaną grubość okna i na koniec polerowane do uzyskania pożądanego wykończenia powierzchni.
Szczegółowy diagram


