12-calowy wafel szafirowy do produkcji półprzewodników w dużych ilościach

Krótki opis:

12-calowy wafel szafirowy został zaprojektowany, aby sprostać rosnącemu zapotrzebowaniu na produkcję półprzewodników i optoelektroniki o dużej powierzchni i wysokiej przepustowości. Wraz ze skalowaniem architektur urządzeń i przechodzeniem linii produkcyjnych na większe formaty wafli, podłoża szafirowe o ultradużych średnicach oferują wyraźne korzyści w zakresie wydajności, optymalizacji wydajności i kontroli kosztów.

Wyślij do nas e-mail

Cechy

Szczegółowy diagram

Wprowadzenie 12-calowego wafla szafirowego

Nasze 12-calowe wafle szafirowe, wykonane z monokrystalicznego Al₂O₃ o wysokiej czystości, łączą w sobie doskonałą wytrzymałość mechaniczną, stabilność termiczną i jakość powierzchni. Dzięki zoptymalizowanemu wzrostowi kryształów i precyzyjnej obróbce wafli, te podłoża zapewniają niezawodną wydajność w zaawansowanych zastosowaniach LED, GaN i specjalnych półprzewodnikach.

Charakterystyka materiału

Szafir (monokrystaliczny tlenek glinu, Al₂O₃) jest dobrze znany ze swoich wyjątkowych właściwości fizycznych i chemicznych. 12-calowe płytki szafirowe posiadają wszystkie zalety materiału szafirowego, a jednocześnie charakteryzują się znacznie większą powierzchnią użytkową.

Kluczowe cechy materiału obejmują:

Wyjątkowo wysoka twardość i odporność na zużycie
Doskonała stabilność termiczna i wysoka temperatura topnienia
Doskonała odporność chemiczna na kwasy i zasady
Wysoka przejrzystość optyczna od długości fal UV do IR
Doskonałe właściwości izolacji elektrycznej

Dzięki tym cechom 12-calowe płytki szafirowe nadają się do trudnych warunków przetwarzania i procesów produkcji półprzewodników wymagających wysokiej temperatury.

Proces produkcyjny

Produkcja 12-calowych płytek szafirowych wymaga zaawansowanych technologii wzrostu kryształów i ultraprecyzyjnych technologii przetwarzania. Typowy proces produkcyjny obejmuje:

Wzrost pojedynczego kryształu
Wysokiej czystości kryształy szafiru uzyskuje się przy użyciu zaawansowanych metod, takich jak KY lub inne technologie wzrostu kryształów o dużej średnicy, co zapewnia jednorodną orientację kryształów i niskie naprężenia wewnętrzne.
Kształtowanie i cięcie kryształów
Sztabka szafiru jest precyzyjnie kształtowana i cięta na 12-calowe płytki za pomocą precyzyjnego sprzętu tnącego, co pozwala ograniczyć uszkodzenia podpowierzchniowe.
Docieranie i polerowanie
W celu uzyskania doskonałej chropowatości, płaskości i jednorodności grubości powierzchni stosuje się wielostopniowe procesy docierania i polerowania chemiczno-mechanicznego (CMP).
Czyszczenie i kontrola
Każdy 12-calowy wafel szafirowy poddawany jest dokładnemu czyszczeniu i rygorystycznej kontroli, obejmującej analizę jakości powierzchni, TTV, wygięć, odkształceń i wad.

Aplikacje

12-calowe płytki szafirowe są szeroko stosowane w zaawansowanych i powstających technologiach, w tym:

Podłoża LED o dużej mocy i jasności
Urządzenia zasilające i urządzenia RF na bazie GaN
Nośniki urządzeń półprzewodnikowych i podłoża izolacyjne
Okna optyczne i elementy optyczne o dużej powierzchni
Zaawansowane obudowy półprzewodników i specjalne nośniki procesów

Duża średnica zapewnia większą wydajność i lepszą efektywność kosztową w produkcji masowej.

Zalety 12-calowych płytek szafirowych

Większa powierzchnia użytkowa zapewniająca większą wydajność urządzenia na płytkę
Poprawa spójności i jednolitości procesów
Niższy koszt jednostkowy na urządzenie w przypadku produkcji wielkoseryjnej
Doskonała wytrzymałość mechaniczna do obsługi dużych gabarytów
Możliwość dostosowania specyfikacji do różnych zastosowań

Opcje dostosowywania

Oferujemy elastyczną personalizację 12-calowych płytek szafirowych, obejmującą:

Orientacja kryształu (płaszczyzna C, płaszczyzna A, płaszczyzna R itd.)
Tolerancja grubości i średnicy
Polerowanie jednostronne lub dwustronne
Profil krawędzi i konstrukcja fazowania
Wymagania dotyczące chropowatości i płaskości powierzchni

Parametr	Specyfikacja	Notatki
Średnica wafla	12 cali (300 mm)	Standardowy wafel o dużej średnicy
Tworzywo	Monokrystaliczny szafir (Al₂O₃)	Wysoka czystość, klasa elektroniczna/optyczna
Orientacja kryształu	Płaszczyzna C (0001), Płaszczyzna A (11-20), Płaszczyzna R (1-102)	Dostępne są opcjonalne orientacje
Grubość	430–500 μm	Niestandardowa grubość dostępna na życzenie
Tolerancja grubości	±10 μm	Ścisła tolerancja dla zaawansowanych urządzeń
Całkowita zmienność grubości (TTV)	≤10 μm	Zapewnia równomierne przetwarzanie w całym waflu
Ukłon	≤50 μm	Zmierzono na całej powierzchni płytki
Osnowa	≤50 μm	Zmierzono na całej powierzchni płytki
Wykończenie powierzchni	Polerowanie jednostronne (SSP) / Polerowanie dwustronne (DSP)	Powierzchnia o wysokiej jakości optycznej
Chropowatość powierzchni (Ra)	≤0,5 nm (polerowane)	Gładkość na poziomie atomowym dla wzrostu epitaksjalnego
Profil krawędzi	Fazowanie / Zaokrąglona krawędź	Aby zapobiec odpryskiwaniu podczas obsługi
Dokładność orientacji	±0,5°	Zapewnia prawidłowy wzrost warstwy epitaksjalnej
Gęstość defektów	<10 cm⁻²	Zmierzone metodą optyczną
Płaskość	≤2 μm / 100 mm	Zapewnia jednolitą litografię i wzrost epitaksjalny
Czystość	Klasa 100 – Klasa 1000	Kompatybilny z pomieszczeniami czystymi
Transmisja optyczna	>85% (UV–IR)	Zależy od długości fali i grubości

Najczęściej zadawane pytania dotyczące 12-calowego wafla szafirowego

P1: Jaka jest standardowa grubość 12-calowego wafla szafirowego?
A: Standardowa grubość wynosi od 430 μm do 500 μm. Możliwe jest również wykonanie grubości niestandardowych, zgodnie z wymaganiami klienta.

P2: Jakie orientacje kryształów są dostępne dla 12-calowych płytek szafirowych?
A: Oferujemy orientacje w płaszczyźnie C (0001), A (11-20) i R (1-102). Inne orientacje można dostosować do konkretnych wymagań urządzenia.

P3: Jaka jest całkowita zmienność grubości (TTV) wafla?
A: Nasze 12-calowe wafle szafirowe charakteryzują się zazwyczaj TTV ≤10 μm, co zapewnia jednolitość całej powierzchni wafla, a co za tym idzie, produkcję urządzeń wysokiej jakości.

O nas

Firma XKH specjalizuje się w rozwoju, produkcji i sprzedaży zaawansowanych technologicznie specjalistycznych szkieł optycznych i nowych materiałów kryształowych. Nasze produkty znajdują zastosowanie w elektronice optycznej, elektronice użytkowej oraz w wojsku. Oferujemy komponenty optyczne z szafiru, obudowy soczewek do telefonów komórkowych, ceramikę, płytki LT, węglik krzemu SIC, kwarc oraz kryształy półprzewodnikowe. Dzięki specjalistycznej wiedzy i najnowocześniejszemu sprzętowi, specjalizujemy się w przetwarzaniu produktów niestandardowych, dążąc do bycia wiodącym przedsiębiorstwem high-tech w branży materiałów optoelektronicznych.