Podłoże waflowe szafirowe o średnicy 12 cali, 300 x 1,0 mm, płaszczyzna C, SSP/DSP
Sytuacja na rynku podłoży szafirowych 12 cali
Obecnie szafir ma dwa główne zastosowania: pierwsze to materiał podłoża, głównie w diodach LED, drugie to tarcze zegarków, lotnictwo, przemysł kosmiczny, specjalny materiał do produkcji okienek.
Chociaż oprócz szafiru, jako podłoża do diod LED dostępne są również węglik krzemu, krzem i azotek galu, masowa produkcja wciąż nie jest możliwa ze względu na koszty i pewne nierozwiązane problemy techniczne. Podłoże szafirowe, dzięki rozwojowi technologicznemu w ostatnich latach, znacznie poprawiło i wypromowało swoje parametry sieci krystalicznej, przewodność elektryczną, właściwości mechaniczne, przewodność cieplną i inne właściwości. Przewaga ekonomiczna jest znacząca, dzięki czemu szafir stał się najbardziej dojrzałym i stabilnym materiałem podłoża w branży diod LED. Jest szeroko stosowany na rynku, a jego udział w rynku sięga 90%.
Charakterystyka podłoża wafla szafirowego 12 cali
1. Powierzchnie podłoża szafirowego charakteryzują się wyjątkowo niską liczbą cząstek, z liczbą cząstek o wielkości 0,3 mikrona lub większej na 2 cale (5,5–8 cali) mniejszą niż 50, a główne metale (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) poniżej 2E10/cm². Oczekuje się, że materiał bazowy o grubości 12 cali (30,5 cm) również osiągnie ten stopień.
2. Można go stosować jako płytkę nośną w procesie produkcji półprzewodników 12-calowych (palety transportowe wewnątrz urządzeń) oraz jako podłoże do łączenia.
3. Można kontrolować kształt powierzchni wklęsłych i wypukłych.
Materiał: Wysokiej czystości monokryształ Al2O3, płytka szafirowa.
Jakość LED, bez bąbelków, pęknięć, bliźniaków, linii, bez koloru itp.
12-calowe płytki szafirowe
| Orientacja | Płaszczyzna C<0001> +/- 1 stopień. |
| Średnica | 300,0 +/-0,25 mm |
| Grubość | 1,0 +/-25um |
| Karb | Nacięcie lub płasko |
| TTV | <50um |
| UKŁON | <50um |
| Krawędzie | Fazowanie ochronne |
| Przód – polerowany 80/50 | |
| Znak laserowy | Nic |
| Opakowanie | Pojedyncze pudełko transportowe na wafle |
| Przednia strona gotowa do polerowania Epi (Ra <0,3nm) | |
| Tylna strona Epi gotowa do polerowania (Ra <0,3nm) | |
Szczegółowy diagram



