ZaletyPrzez szybę (TGV)oraz Procesy Through Silicon Via (TSV) w transporcie TGV obejmują głównie:
(1) doskonałe właściwości elektryczne wysokiej częstotliwości. Materiał szklany jest materiałem izolacyjnym, stała dielektryczna wynosi tylko około 1/3 wartości materiału krzemowego, a współczynnik strat jest o 2-3 rzędy wielkości niższy niż w przypadku materiału krzemowego, co znacznie zmniejsza utratę podłoża i efekty pasożytnicze i zapewnia integralność przesyłanego sygnału;
(2)duży rozmiar i ultracienkie podłoże szklanejest łatwe do zdobycia. Corning, Asahi i SCHOTT oraz inni producenci szkła mogą dostarczać szkło panelowe o bardzo dużych rozmiarach (>2 m × 2 m) i ultracienkie (<50 µm) oraz ultracienkie, elastyczne materiały szklane.
3) Niski koszt. Skorzystaj z łatwego dostępu do ultracienkich paneli szklanych o dużych rozmiarach i nie wymaga nakładania warstw izolacyjnych, koszt produkcji szklanej płyty adaptera wynosi tylko około 1/8 płyty adaptera na bazie krzemu;
4) Prosty proces. Nie ma potrzeby układania warstwy izolacyjnej na powierzchni podłoża i wewnętrznej ścianie TGV, a ultracienka płyta adaptera nie wymaga pocieniania;
(5) Silna stabilność mechaniczna. Nawet jeśli grubość płyty adaptera jest mniejsza niż 100 µm, wypaczenie jest nadal niewielkie;
(6) Szeroki zakres zastosowań, to nowa technologia wzajemnych połączeń podłużnych stosowana w dziedzinie pakowania na poziomie płytki, w celu osiągnięcia najkrótszej odległości między płytką, a minimalny rozstaw złącza zapewnia nową ścieżkę technologiczną o doskonałych parametrach elektrycznych , właściwości termiczne i mechaniczne, w chipie RF, wysokiej klasy czujnikach MEMS, integracji systemów o dużej gęstości i innych obszarach o unikalnych zaletach, to następna generacja chipów 3D o wysokiej częstotliwości 5G, 6G. Jest to jeden z pierwszych wyborów dla Pakowanie 3D chipów wysokiej częstotliwości nowej generacji 5G i 6G.
Proces formowania TGV obejmuje głównie piaskowanie, wiercenie ultradźwiękowe, trawienie na mokro, głębokie trawienie jonami reaktywnymi, trawienie światłoczułe, trawienie laserowe, trawienie wgłębne indukowane laserem i tworzenie otworów wyładowczych skupiających.
Najnowsze wyniki badań i rozwoju pokazują, że za pomocą tej technologii można przygotowywać otwory przelotowe i nieprzelotowe 5:1 przy stosunku głębokości do szerokości wynoszącym 20:1 i charakteryzującym się dobrą morfologią. Głębokie trawienie indukowane laserem, które powoduje małą chropowatość powierzchni, jest obecnie najczęściej badaną metodą. Jak pokazano na rysunku 1, wokół zwykłego wiercenia laserowego występują wyraźne pęknięcia, podczas gdy otaczające i boczne ściany głębokiego trawienia indukowanego laserem są czyste i gładkie.
Proces przetwarzaniaTGVwstawkę pokazano na rysunku 2. Ogólny schemat zakłada najpierw wywiercenie otworów w podłożu szklanym, a następnie osadzenie warstwy barierowej i warstwy początkowej na bocznej ścianie i powierzchni. Warstwa barierowa zapobiega dyfuzji Cu do podłoża szklanego, jednocześnie zwiększając przyczepność obu, oczywiście w niektórych badaniach stwierdzono również, że warstwa barierowa nie jest konieczna. Następnie Cu osadza się poprzez galwanizację, następnie wyżarza, a warstwę Cu usuwa się za pomocą CMP. Na koniec warstwę rewiringu RDL przygotowuje się za pomocą litografii z powłoką PVD, a warstwę pasywacyjną tworzy się po usunięciu kleju.
(a) Przygotowanie płytki, (b) formowanie TGV, (c) galwanizacja dwustronna – osadzanie miedzi, (d) wyżarzanie i polerowanie chemiczno-mechaniczne CMP, usuwanie wierzchniej warstwy miedzi, (e) powlekanie PVD i litografia , (f) nałożenie warstwy rewiringu RDL, (g) odklejenie i trawienie Cu/Ti, (h) utworzenie warstwy pasywacyjnej.
Podsumowując,szkło z otworem przelotowym (TGV)perspektywy zastosowań są szerokie, a obecny rynek krajowy znajduje się w fazie wzrostu, od sprzętu po projektowanie produktów i tempo wzrostu badań i rozwoju jest wyższe niż średnia światowa
Jeśli doszło do naruszenia, skontaktuj się z usunięciem
Czas publikacji: 16 lipca 2024 r